[发明专利]一种制备多晶硅太阳能电池发射极的扩散方法

权利要求书

1.一种制备多晶硅太阳能电池发射极的扩散方法，包括三次通源扩散，其特征在于，所述三次通源扩散步骤为：

（1）使用液态POCl₃磷源，温度为760-880℃，大氮气体流量为18-28L/min，氧气流量为0.4-3.4 L/min，小氮气体流量为0.3-2.3 L/min，扩散时间为1-20min，进行第一次扩散；

（2）使用液态POCl₃磷源，温度为760-880℃，大氮气体流量为18-28L/min，氧气流量为0.4-3.4 L/min，小氮气体流量为0.3-2.3 L/min，扩散时间为1-20min，进行第二次扩散；

（3）使用液态POCl₃磷源，温度为760-880℃，大氮气体流量为18-28L/min，氧气流量为0.4-3.4 L/min，小氮气体流量为0.3-2.3 L/min，扩散时间为1-20min，进行第三次扩散。

2.根据权利要求1所述的制备多晶硅太阳能电池发射极的扩散方法，其特征在于，在所述第一次扩散前还包括硅片预氧化步骤：将温度升至760-880℃，通入大氮和氧气混合气体对硅片表面进行氧化，控制大氮气体流量为18-28L/min，氧气流量为0.4-3.4L/min，氧化时间为1-20min。

3.根据权利要求1或2所述的制备多晶硅太阳能电池发射极的扩散方法，其特征在于，在所述第三次扩散后还包括恒温推结步骤：将温度保持在760-880℃，通入大氮和氧气混合气体，进行恒温推结，大氮气体流量为18-28L/min，氧气流量为0.4-3.4L/min，时间为1-20min。

4.根据权利要求1所述的制备多晶硅太阳能电池发射极的扩散方法，其特征在于，所述大氮是为保证石英管内压力稳定，排除杂质气体的大流量氮气，气体流量为18-28L/min，所述小氮为携带液态POCl₃进入石英管内的小流量氮气，气体流量为0.3-2.3L/min。