[发明专利]类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜，其特征在于该薄膜镀覆在不锈钢表面上，薄膜由高硬度类金刚石薄膜和二硫化钼润滑膜多层交替构成；类金刚石薄膜单层厚度为10～100nm，层数为10-100层，二硫化钼润滑膜单层厚度为10-100nm，层数为10-100层；类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜总厚度为1.5～6μm，硬度为12-18GPa。

2.一种类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜的制备方法，其特征在于首先对不锈钢基底进行超声清洗前处理，然后置于MFD800型双靶磁控溅射气相沉积系统的真空腔中，依次沉积以下薄膜：(a)预抽真空至5×10^-4Pa，放电气压为1.0～1.5Pa，偏压为-500～-1000V，对不锈钢基底进行20～30min的氩等离子体溅射活化处理；(b)单层类金刚石碳薄膜沉积，采用直流电源控制石墨靶，氩气气氛，放电气压为0.8Pa，控制石墨靶电流为1.0～1.4A，在不锈钢基底上施加偏压-200～-400V，沉积时间为1～15min；(c)单层二硫化钼润滑层沉积，采用射频电源控制二硫化钼靶，功率为200～600W，沉积时间为1～10min；(d)重复步骤(b)和(c)，交替沉积类金刚石层和二硫化钼润滑层，直到所需厚度或层数，最终在不锈钢基底表面获得类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜。