[发明专利]四氟化硅的制备方法无效
| 申请号： | 201110280075.6 | 申请日： | 2011-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN102351198A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张月和;薛明;蔡春立;李青娟;李占良;孙仲刚;窦义虎 | 申请（专利权）人： | 六九硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氟化 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种四氟化硅的制备方法，包括以下步骤：
a)液态氟化氢与Si源在浓硫酸的作用下反应，得到四氟化硅。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤a)具体包括：
a1)将Si源与浓硫酸混合均匀；
a2)向所述步骤a1)得到的混合物中加入液态氟化氢，反应后得到四氟化硅。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤a1)具体包括：
将Si源与浓硫酸混合，混合均匀后进行加热。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述加热的温度为60℃～120℃。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述浓硫酸的浓度为80％以上。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述Si源中的Si、浓硫酸与液态氟化氢的摩尔比为1∶(3～10)∶(1～5)。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述反应的温度为60℃～120℃。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述液态氟化氢按照以下方法制备：
含NaAlF4原料与硫酸反应，得到混合气体；
将所述混合气体提纯、液化后，得到液态氟化氢。
9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述含NaAlF4原料中NaAlF4与硫酸的摩尔比为1∶(1～5)。
10.根据权利要求1～9任意一项所述的制备方法，其特征在于，所述Si源为硅石粉和石英砂中的一种或两种。
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