[发明专利]小型化支撑微调装置及其运用

权利要求书

1.一种小型化支撑微调装置，具有可在X轴方向、Y轴方向及Z轴方向分别进行微调的组件以支撑重物。

2.一种小型化支撑微调装置，其定义有X轴方向、Y轴方向及Z轴方向，且该小型化支撑微调装置包括：

基座，其顶面具有上开孔且其底面具有与上开孔对应的下开孔；

滑座，在该X轴方向滑动设置在该基座上且具有滑槽；

滑块，在该Y轴方向滑动设置在该滑座上且具有螺孔；以及

调整螺栓，沿该Z轴方向经由该下开孔与该上开孔穿过该滑槽螺合在该螺孔中；

因此，该小型化支撑微调装置可在该X轴方向、该Y轴方向及该Z轴方向分别进行微调以支撑重物。

3.一种小型化支撑微调装置，其定义有X轴方向、Y轴方向及Z轴方向，且该小型化支撑微调装置包括：

基座，包括槽孔及至少一个固定座，该槽孔沿该X轴方向及该Y轴方向开设并分隔该基座沿该Z轴方向形成上基部及下基部，该上基部包括第一滑轨、多个第一螺丝及上开孔，该第一滑轨沿该X轴方向延伸并包括多个第一螺孔，该多个第一螺孔沿该Y轴方向开设，该多个第一螺丝分别螺合在该多个第一螺孔中，该上开孔沿该Z轴方向开设，该下基部包括下开孔，该下开孔沿该Z轴方向开设并对应于该上开孔，该至少一个固定座由该基座向外延伸；

滑座，滑动设置在该第一滑轨上并对应顶抵在该多个第一螺丝上，且该滑座包括第二滑轨、多个第二螺丝及滑槽，该第二滑轨沿该Y轴方向延伸并包括多个第二螺孔，该多个第二螺孔沿该X轴方向开设，该多个第二螺丝分别螺合在该多个第二螺孔中，该滑槽沿该Z轴方向开设并沿该Y轴方向延伸、并对应于该上开孔；

滑块，滑动设置在该第二滑轨上并对应顶抵在该多个第二螺丝上，且该滑块包括螺孔，该螺孔沿该Z轴方向开设；以及

调整螺栓，沿该Z轴方向经由该下开孔与该上开孔穿过该滑槽螺合在该螺孔中。

4.如权利要求3所述的小型化支撑微调装置，其特征在于，该调整螺栓为M12螺栓。

5.如权利要求3所述的小型化支撑微调装置，其特征在于，该至少一个固定座分别沿该X轴方向由该基座向外延伸形成。

6.如权利要求3所述的小型化支撑微调装置，其特征在于，该小型化支撑微调装置具有调整精度，且该调整精度为微米等级。

7.一种如权利要求3所述的小型化支撑微调装置的运用，其固定在半导体设备中以协助连接及支撑腔体，其中该小型化支撑微调装置可在X轴方向、Y轴方向及Z轴方向分别进行微调。