[发明专利]小型化支撑微调装置及其运用

说明书

技术领域

本发明涉及一种小型化支撑微调装置及其运用，尤其涉及一种可进行X、Y、Z三轴方向的微调以协助连接半导体设备的腔体的小型化支撑微调装置。

背景技术

在半导体制程中，为了在材料上形成例如导电膜、抗反射膜或反应膜等具有不同特性的薄膜，一般会使用PVD(Physical Vapor Deposition)、CVD(Chemical Vapor Deposition)等真空镀膜设备，而前述设备必须具有极高的真空度(洁净度)才能有效地运作并确保镀膜的质量。

真空制程设备粗略可分为集束式与直线式，所谓集束式是将不同制程的腔体环绕在传送腔体(其具有传送机构，例如机械手臂)周围，直线式则是将不同制程的腔体直线排列连接。

不论是使用何种形式的真空制程设备，其腔体与腔体之间皆必须紧密接合以达到气密效果，故腔体与腔体之间一般会通过多个螺丝(例如M8螺丝)互相紧密地螺锁。

在螺锁过程中，因为制造公差问题，每一个螺丝并不一定可以很顺利地螺入对应的螺孔，故在螺锁时必须将腔体稍微抬高或偏移微小距离以调整腔体的位置，且必须不断重复此动作才能使腔体调整至适当位置并使螺丝顺利地螺入对应的螺孔。

然而，因为腔体具有较大尺寸而具有一定重量，例如数百公斤以上，故在抬高或偏移过程中必须借助多个工人，耗费极大力气才能移动调整腔体的位置。

此外，利用人力移动调整腔体不仅耗费力气，工人在移动腔体时亦容易产生移动距离过多或过少的问题，换句话说，工人必须不断尝试移动距离的多少并重复调整腔体的位置才能使螺丝顺利地螺入对应的螺孔。

虽然目前有所谓的千斤顶可用以支撑重物，但因腔体四周亦有其他相关设备、管路存在，故亦无空间可使用一般常见的千斤顶。

再者，腔体在稍微抬高后虽然可以使螺丝顺利地螺入对应的螺孔，但如上所述，腔体十分笨重，故腔体在稍微抬高而与相邻腔体连接后会形成倾斜而呈局部悬空的状态，由于螺丝必须支撑腔体的重量，因而产生弯曲效果，如此在长久使用之后，即会造成螺丝弯曲甚至断裂等问题，进而使腔体与腔体之间无法达到气密效果，严重者甚至会造成腔体损坏。

上述问题存在由来已久，但始终无法有效解决，原因在于人们始终认为在连接腔体时，腔体与腔体之间只要能顺利地螺锁螺丝并达到气密要求即可，但却未考虑或正视后续会造成螺丝弯曲、断裂、腔体损坏等问题，故虽然在连接腔体时暂时看似没有问题，但长久以往所造成的影响却不容小觑。

发明内容

本发明即为解决上述问题而提供一种小型化支撑微调装置，其具有可在X轴方向、Y轴方向及Z轴方向分别进行微调的组件以支撑重物。

换句话说，本发明的小型化支撑微调装置定义有X轴方向、Y轴方向及Z轴方向，且此小型化支撑微调装置包括基座、滑座、滑块、及调整螺栓。其中，基座在其顶面具有上开孔，且在其底面具有与上开孔对应的下开孔；滑座在X轴方向滑动设置在基座上，且滑座上具有滑槽；滑块在Y轴方向滑动设置在滑座上，且滑块上具有螺孔；调整螺栓沿Z轴方向经由下开孔与上开孔穿过滑槽螺合在螺孔中；因此，小型化支撑微调装置可在X轴方向、Y轴方向及Z轴方向分别进行微调以支撑重物。

进一步说，本发明所提供的小型化支撑微调装置，其基座包括槽孔及至少一个固定座，槽孔沿X轴方向及Y轴方向开设，并分隔基座沿Z轴方向形成上基部及下基部，上基部包括第一滑轨、多个第一螺丝及上开孔，下基部包括下开孔，其中，第一滑轨沿X轴方向延伸并包括多个第一螺孔，此多个第一螺孔沿Y轴方向开设，多个第一螺丝分别螺合在多个第一螺孔中，上开孔沿Z轴方向开设，下开孔亦沿Z轴方向开设并对应于上开孔，至少一个固定座由基座向外延伸形成。

该小型化支撑微调装置的滑座滑动设置在第一滑轨上并对应顶抵在多个第一螺丝上，且滑座包括第二滑轨、多个第二螺丝及滑槽，其中，第二滑轨沿Y轴方向延伸并包括多个第二螺孔，此多个第二螺孔沿X轴方向开设，多个第二螺丝分别螺合在多个第二螺孔中，滑槽沿Z轴方向开设并沿Y轴方向延伸、并对应于上开孔。

该小型化支撑微调装置的滑块滑动设置在第二滑轨上并对应顶抵在多个第二螺丝上，且滑块包括螺孔，此螺孔沿Z轴方向开设。

该小型化支撑微调装置的调整螺栓沿Z轴方向经由下开孔与上开孔穿过滑槽螺合在螺孔中。

因此，通过基座、滑座、滑块及调整螺栓等简单机构组件的组合，即可在X、Y、Z三轴方向支撑微调以定位调整螺栓来支撑重物，并可达到结构小型化及低制造成本的目的。