[发明专利]利用甲烷制作高效率非晶硅薄膜太阳能电池

权利要求书

1.一种利用甲烷制作高效率非晶硅薄膜太阳能电池，其目的在于大幅增加非晶硅薄膜太阳能电池针对红外光的吸收度，进而达到高效率之非晶硅薄膜太阳能电池。

2.根据权利要求1所述的一种利用甲烷制作高效率非晶硅薄膜太阳能电池，其中透明玻璃基板材质选用超高穿透度之玻璃基板，以增加入射光的比例。

3.根据权利要求1所述的一种利用甲烷制作高效率非晶硅薄膜太阳能电池，其中该P层非晶硅半导体层，使用PH3形成带电洞之半导体层。

4.根据权利要求1所述的一种利用甲烷制作高效率非晶硅薄膜太阳能电池，其中该非晶硅(SiC:H)本质半导体层，选用甲烷、硅烷及氢气制作本质半导体层，使其能够吸收更多红外光，并大幅提升非晶硅薄膜太阳能电池的效率。

5.根据权利要求1所述的一种利用甲烷制作高效率非晶硅薄膜太阳能电池，其中该N层非晶硅半导体层，使用TMB及B2H6形成带电子之半导体层。