[发明专利]反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室

权利要求书

1.一种反应腔室盖板，其特征在于，包括：反应腔室隔板(1)、传片门板(4)、连杆机构以及电机(9)；所述反应腔室隔板(1)设于反应腔室侧面，并开有对应于反应腔室入口的方孔(2)；所述传片门板(4)可在所述反应腔室隔板(1)上运动；所述连杆机构包括至少一根连杆；所述传片门板(4)、连杆机构、电机(9)依次连接，连杆机构能够在电机(9)的驱动下带动传片门板(4)运动，以将反应腔室隔板上的方孔(2)打开或关闭。

2.如权利要求1所述的反应腔室盖板，其特征在于，所述反应腔室隔板的方孔(2)两侧设有门板导轨(3)，传片门板(4)两侧设有导轨滑块(4)，传片门板(4)通过导轨滑块(4)在所述门板导轨(3)上运动。

3.如权利要求1所述的反应腔室盖板，其特征在于，所述门板导轨(3)的长度根据传片门板(4)运动的距离而定。

4.如权利要求1所述的反应腔室盖板，其特征在于，所述传片门板(4)的大小根据反应腔室隔板的方孔(2)的尺寸而定。

5.如权利要求1所述的反应腔室盖板，其特征在于，该反应腔室为半导体反应腔室，通过机械手传取晶片，所述方孔(2)的尺寸根据机械手的尺寸与晶片的尺寸而定。

6.如权利要求1-5中任意一项所述的反应腔室盖板，其特征在于，所述连杆机构为双连杆机构，包括第一连杆(6)和第二连杆(7)，传片门板(4)与第一连杆(6)连接，第一连杆(6)与第二连杆(7)通过转轴连接，并且两根连杆可绕转轴相对转动；第二连杆(7)与电机(9)连接，当电机轴转动时，可带动第二连杆(7)一起转动，从而带动传片门板(4)在反应腔室隔板(1)上移动。

7.如权利要求1-5中任意一项所述的反应腔室盖板，其特征在于，所述连杆机构为四连杆机构，包括两根第一连杆(6)、第二连杆(7)和第三连杆(8)，传片门板(4)与两根相同的第一连杆(6)连接，这两根第一连杆(6)与第三连杆(8)的两端通过转轴连接，并且两根第一连杆(6)可绕转轴与第三连杆(8)相对转动；第二连杆(7)与第三连杆(8)通过第三连杆(8)中间的转轴连接，通过转轴，第二连杆(7)和第三连杆(8)可相对转动；第二连杆(7)与电机(9)连接，当电机轴转动时，可带动第二连杆(7)一起转动，第二连杆(7)、第三连杆(8)和两根第一连杆(6)组成连杆机构，从而带动传片门板(4)在反应腔室隔板(1)上移动。

8.一种具有权利要求1-7中任意一项所述的反应腔室盖板的反应腔室，其特征在于，还包括：腔体，所述反应腔室盖板用于将腔室所处环境与外界环境隔离开来。

9.如权利要求8所述的反应腔室，其特征在于，该反应腔室为半导体反应腔室。