[发明专利]三维微位相差膜的检测方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种光学薄膜检测方法，特别是指一种三维微位相差膜(micro-retardation film)的检测方法及系统。

背景技术

现有的三维微位相差膜的检测技术，利用一个光罩(mask)将一个三维微位相差膜的一个单一位相差(retardation)区域之外的区域遮住，再利用位相差仪器量测对应于该三维微位相差膜的位相差值。

请参阅图1，假设该三维微位相差膜对应一个结构纹理(texture)图样1，该结构纹理图样1内具有多个线条图案11、12，假设该单一位相差区域为该多个线条图案11对应的区域，则该光罩需遮住该多个线条图案12对应的区域。由此可知，当该多个线条图案11的宽度(pitch，标示为P)有所改变时，所需的光罩也随之不同；换言之，在现有的三维微位相差膜的检测技术中，对于对应不同宽度P的单一位相差区域，必需利用位相差仪器配合不同的光罩来进行量测。

发明内容

因此，本发明的目的，即在提供一种不需位相差仪器及光罩的三维微位相差膜的检测方法。

于是，本发明三维微位相差膜的检测方法，利用一个处理单元配合一个影像撷取单元来执行，该影像撷取单元用以撷取对应于一个待检测的三维微位相差膜的一个待检测的微结构影像，该方法包含下列步骤：

(A)接收该待检测的微结构影像，其中，该待检测的微结构影像包括多个像素；

(B)根据该待检测的微结构影像的该多个像素分别对应的多个第一色阶，求得对应于该待检测的微结构影像的一个第一色阶分布资讯；

(C)根据步骤(B)所求得的该第一色阶分布资讯，配合一个第一标准色阶分布资讯，求得一个第一色差指标；及

(D)输出对应于步骤(C)所求得的该第一色差指标的检测结果。

本发明的另一目的，即在提供一种三维微位相差膜的检测系统。

于是，本发明三维微位相差膜的检测系统包含一个影像撷取单元，及一个处理单元。该影像撷取单元用以撷取对应于一个待检测的三维微位相差膜的一个待检测的微结构影像。该处理单元用以进行：接收该待检测的微结构影像，其中，该待检测的微结构影像包括多个像素；根据该待检测的微结构影像的该多个像素分别对应的多个第一色阶，求得对应于该待检测的微结构影像的一个第一色阶分布资讯；根据该第一色阶分布资讯配合一个第一标准色阶分布资讯，求得一个第一色差指标；及输出对应于该第一色差指标的检测结果。

本发明的功效在于：藉由该第一色差指标，即可进行关于该待检测的三维微位相差膜的检测，对于对应不同线条图案宽度的三维微位相差膜，不须额外地利用位相差仪器配合各种不同的光罩来进行量测。

于本发明的优点与精神可以由以下的附图说明及具体实施方式详述得到进一步的了解。

附图说明

图1是一示意图，说明一个三维微位相差膜所对应的一个结构纹理图样；

图2是一方块图，说明本发明三维微位相差膜的检测系统的一个较佳实施例；

图3a至图3g是一示意图，说明对应于一个标准的三维微位相差膜的一个标准的微结构影像、一个第一标准分布图、一个第二标准分布图、一个第三标准分布图、一个第一标准暗态数列分布图、一个第二标准暗态数列分布图，及一个第三标准暗态数列分布图；及

图4是一流程图，说明本发明三维微位相差膜的检测方法的一个较佳实施例。

具体实施方式

有关本发明的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。

请参阅图2及图3a至图3g，本发明三维微位相差膜的检测系统2的一个较佳实施例包含一个光学显微镜21、一个第一偏光片22、一个第二偏光片23、一个光源24、一个影像撷取单元25，及一个处理单元26。

该光源24用以提供朝该光学显微镜21行进的光线。该第一偏光片22位于该光源24所提供的光线所形成的光路径27上，且设置于该光源24与该光学显微镜21两者之间，其中，该第一偏光片22对应第一偏光轴。该第二偏光片23位于该光路径27上，且设置于该第一偏光片22与该光学显微镜21两者之间，其中，该第二偏光片23对应第二偏光轴。

在检测过程中，三维微位相差膜3被置于该第一偏光片22及该第二偏光片23之间，且该第一偏光轴与该第二偏光轴呈一特定角度，以使该影像撷取单元25可撷取到对应于三维微位相差膜3的微结构影像。在本较佳实施例中，该第一偏光片22所对应的该第一偏光轴为固定轴向的，该第二偏光片23所对应的该第二偏光轴为可调轴向的。