[发明专利]一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置有效
| 申请号： | 201110288811.2 | 申请日： | 2011-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103018213A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 刘永利;张锦龙;程鑫彬;马彬;焦宏飞;丁涛;韩金;张艳云;王玲;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 宣慧兰 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光学薄膜 70 入射 光谱 透射率 测量方法 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)测量基板在入射角为0°时的透射率T0°；
2)根据1)中测得的透射率T0°计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值和
3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和
4)计算偏振特性因子p，计算公式为：
5)用测试样品替换基板，分别测量测试样品在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和
6)计算测试样品S光和P光的透射率TS和TP，计算公式为：
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