[发明专利]一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种射率测量方法及装置，尤其是涉及一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置。

背景技术

传统测量方法在测量在0-70°倾斜入射的宽光谱透射率时，需要依靠起偏器来切换P光(光矢量平行于入射面)和S光(光矢量垂直于入射面)，并要求起偏器为理想起偏器，这一要求是非常苛刻的。但是测试中所用起偏器都是部分起偏器，因此透射率的测量精度随着入射角的增加迅速增大。起偏器的消光比随波长而变化，且通常其工作波段较窄，无法满足宽光谱的透射率测量要求。采用多个高性能的工作在不同波段的起偏器的组合来测量宽光谱透射率的成本又非常高。

发明内容

本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置，该测量方法及装置成本低、测量步骤简单而且测量精度高。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)测量基板在入射角为0°时的透射率T_0°；

2)根据1)中测得的透射率T_0°计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值和

3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和

4)计算偏振特性因子p，计算公式为：

p=Tα,Sm-Tα,SmTα,Sc-Tα,Pc]]>

5)用测试样品替换基板，分别测量测试样品在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和

6)计算测试样品S光和P光的透射率T_S和T_P，计算公式为：