[发明专利]一种化学气相沉积制备ZnO纳米结构的方法

权利要求书

1.本发明公开了一种化学气相沉积制备ZnO纳米结构的方法，其特征在于通过以下工艺实现：称取一定量的Zn粉（99.9%），置于陶瓷舟内，将陶瓷舟推入内衬有石墨纸的石英管式炉中心；两端密闭，用机械泵抽至0.1 Pa,通入氩气洗气30分钟，以10 ℃/Min的升温速率加热至800 ℃，同时在氩气管的入口接有一个玻璃瓶（体积2 L）,瓶内装有200 ml丙酮，氩气在瓶内起泡将丙酮带入石英管与Zn蒸汽反应，氩气流量50 sccm,反应时间2小时，自然冷却至室温；在下游管口处内衬石墨纸上收集样品。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，通过氩气将丙酮带入反应炉，在石英管中营造一个充满丙酮的反应气氛。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在整个反应过程中氩气流量为50 sccm。

4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，石英管式炉中心温度为800 ℃。

5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，反应时间为2小时。