[发明专利]用于检验带有斜面的物体的方法及系统

权利要求书

1.一种方法，包括：

用第一偏振的入射光照射物体；

执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波，每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的倾斜侧面被反射，以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波，每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射，从而抑制多重反射光信号和提供基于偏振的滤波光信号；以及

检测基于偏振的滤波光信号。

2.根据权利要求1所述的方法，其中第一偏振是沿第一方向的线性偏振；其中，多重反射光信号是沿着与第一方向不同的第二方向的线性偏振的；以及其中，附加光信号具有沿着与第一方向和第二方向都不同的第三方向的线性偏振的性质。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，基于偏振的滤波的执行包括应用滤波功能来衰减光信号，所述光信号的偏振不同于沿着第三方向的线性偏振。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，第二方向垂直于第三方向。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，物体包括一个顶面和多个倾斜的侧面；其中，至少一个倾斜的侧面具有沿着倾斜侧面方向导向的顶棱；以及其中，至少一个倾斜侧面方向和第一方向之间的第一角度基本上等于45度。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，在基于偏振的滤波之前收集多重反射光信号和收集附加光信号。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，在照射物体之前进行：

通过一个线性偏振元件对输入光进行偏振，以提供偏振光；

将偏振光导向一个非偏振分束器；和通过非偏振分束器将偏振光导向物体，以提供入射光；以及

其中，在执行基于偏振的滤波之前，通过将附加光信号和多重反射光信号穿过非偏振分束器，来收集附加光信号和收集多重反射光信号。

8.根据权利要求6所述的方法，进一步包括对输入光和基于偏振的滤波光中的至少之一进行光谱过滤。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，在照射物体之前进行：

将输入光导向一个非偏振分束器；

通过该非偏振分束器将输光导向线性偏振元件；和

通过该线性偏振元件来对输入光进行偏振，以提供入射光；

其中，基于偏振的滤波是通过线性偏振元件来执行的。

10.根据权利要求8所述的方法，其中，线性偏振元件是最靠近物体的光学元件。

11.根据权利要求8所述的方法，其中，光学收集系统的至少一个光学元件位于线性偏振元件和物体之间；其中，光学收集系统用于收集多重反射光信号和附加光信号。

12.根据权利要求1所述的方法，包括通过传感器检测基于偏振的滤波光信号；以及其中，该方法进一步包括将基于偏振的滤波光的偏振调整为传感器需要的偏振。

13.根据权利要求11所述的方法，其中，传感器需要的偏振是旋转偏振。

14.根据权利要求1所述的方法，其中，每个倾斜的侧面具有沿着倾斜侧面方向导向的顶棱；其中，每个倾斜侧面方向相对于第一方向定向。

15.一种检验系统，包括：

光学系统，设置为：

用第一偏振的入射光照射物体；和

执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波，每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的倾斜侧面被反射，以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波，每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射，从而抑制多重反射光信号和提供基于偏振的滤波光信号；以及

检测基于偏振的滤波光信号的传感器。

16.根据权利要求15所述的检验系统，其中，第一偏振是沿第一方向的线性偏振；其中，多重反射光信号是沿着与第一方向不同的第二方向的线性偏振的；以及其中，附加光信号具有沿着与第一方向和第二方向都不同的第三方向的线性偏振的性质。

17.根据权利要求16所述的检验系统，其中，执行基于偏振的滤波包括应用滤波功能来衰减光信号，所述光信号的偏振不同于沿着第三方向的线性偏振。