[发明专利]用于检验带有斜面的物体的方法及系统

说明书

相关申请

本申请要求于2010年8月10日提交的美国临时专利(申请号为61/372242)的优先权，该申请通过引用被加入于此。

技术领域

本发明涉及用于检验物体、尤其是抑制眩光的物体的方法及系统。

背景技术

很多物体可以是透明的，并且具有一个顶面和另外的至少一个倾斜的侧面(下文称为“倾斜侧面”)。

上述物体可以是半导体器件、发光二极管等。图1和2示出了现有的物体10，其具有梯形的横截面，它包括一个水平底面13、一个水平顶面11、第一倾斜侧面12和第二倾斜侧面14。水平底面13小于顶面11。第一倾斜侧面12相对于水平面成45度定向，第二倾斜侧面14相对于水平面成负45度(-45)定向。

图1示出了具有多个元件15的物体10，尽管它可以具有不同尺寸和形状的元件。期望在物体的图像中能够看到这些元件15，其中一个或多个元件可以反射光，尽管物体10可以具有非反射性的元件。第一倾斜侧面12具有平行于假想的Y轴的顶棱18，第二倾斜侧面14具有平行于假想的Y轴的顶棱19。

顶部照射(明视场照射)可能从物体的顶部和底部水平面11和13以及从物体中的元件被反射回来，从而能够检验它们。图3示出了这点，其中箭头22和21是多次反射光信号的非限制性例子，光信号被所述多个倾斜侧面中的多个倾斜侧面多次反射。

箭头22表示从第一倾斜侧面12向着第二倾斜侧面14被反射以及从第二倾斜侧面14向着传感器被反射的入射光信号。

箭头21表示从第二倾斜侧面14向着第一倾斜侧面12被反射以及从第一倾斜侧面12向着传感器被反射的入射光信号。

多次反射的光信号会对物体的图像产生干扰，如图4所示。该干扰在物体的成像中会作为明亮的眩光出现，如图4的图像30中的灰色区域31和33中所示。图像30还包括物体元件15的图像35和对应于底面13的白背景图像部分32。

这种干扰可能充满于图像30中的特定区域(如区域31和33)，即使不是如此，它也将以劣化检验质量或根本阻止检测的方式干扰图像30。

因此，对一种能在抑制明亮眩光的同时检验物体的改善的方法的需求日益增长。

发明内容

根据本发明的一个实施例，可以提供一种方法，其可包括用第一偏振的入射光照射物体；执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波，每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的侧面被反射，以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波，每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射，从而抑制多重反射光信号，和提供基于偏振的滤波光信号；以及检测基于偏振的滤波光信号。

根据本发明的一个实施例，可以提供一种检验系统，其可以包括(i)用第一偏振的入射光照射物体的光学元件；执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波，每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的侧面被反射，以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波，每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射，从而抑制多重反射光信号，和提供基于偏振的滤波光信号；以及(ii)用于检测基于偏振的滤波光信号的传感器。

根据本发明的一个实施例，可以提供一种方法，其可以包括：(a)用沿第一方向线性偏振的入射光照射物体。该物体可以包括一个顶面和多个倾斜的侧面。每个倾斜的侧面具有沿着倾斜侧面方向导向的顶棱。每个倾斜侧面可以相对于第一方向定向；(b)对多重反射光信号和附加光信号进行基于偏振的滤波，从而抑制多重反射光信号，以提供基于偏振的滤波光信号。多重反射光信号被所述多个倾斜侧面中的多个倾斜侧面多次反射。多重反射光信号是沿着与第一方向不同的第二方向线性偏振的。每个附加光信号可以从物体的一个单独的元件被反射。附加光信号是沿着与第一和第二方向都不同的第三方向线性偏振的；和(c)检测基于偏振的滤波光信号。

执行基于偏振的滤波可以包括应用滤波功能来衰减光信号，该光信号的偏振不同于沿着第三方向的线性偏振。

第二方向可以垂直于第三方向。

至少一个倾斜侧面方向和第一方向之间的第一角度基本上等于45度。

在基于偏振的滤波之前可收集多重反射光信号和收集附加光信号。

在照射物体之前可以进行：通过一个线性偏振元件对输入光进行偏振，以提供偏振光；将偏振光导向一个非偏振分束器；和通过非偏振分束器将偏振光导向物体，以提供入射光；和其中，在执行基于偏振的滤波之前，可以通过将附加光信号和多重反射光信号穿过非偏振分束器，来收集附加光信号和收集多重反射光信号。