[发明专利]用于关键尺寸扫描电子显微镜的真空套管有效
| 申请号： | 201110294192.8 | 申请日： | 2011-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103035465A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;王迪 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 汪洋;顾珊 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 关键 尺寸 扫描 电子显微镜 真空 套管 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于关键尺寸扫描电子显微镜的真空套管，其特征在于，所述真空套管为圆环形结构，所述真空套管的内径与关键尺寸扫描电子显微镜的载物台上设置的定位销相匹配，所述真空套管的硬度小于待测晶片的硬度。
2.按照权利要求1所述的真空套管，其特征在于，所述真空套管的材料为橡胶。
3.按照权利要求1所述的真空套管，其特征在于，所述真空套管的厚度为0.4-0.9 mm。
4.按照权利要求1所述的真空套管，其特征在于，所述真空套管的内径为4.95-5.15 mm。
5.按照权利要求1所述的真空套管，其特征在于，所述真空套管的高度大于或等于所述待测晶片的厚度。
6.按照权利要求1所述的真空套管，其特征在于，所述真空套管的高度为1.85-2.05 mm。
7.按照权利要求1所述的真空套管，其特征在于，所述真空套管的高度与所述定位销的高度相匹配。
8.一种关键尺寸扫描电子显微镜，其特征在于，所述关键尺寸扫描电子显微镜的载物台上设置有用于定位晶片的定位销，所述定位销上设置有如权利要求1-7中任一项所述的真空套管。
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