[发明专利]晶棒定位装置输出轴机构有效
| 申请号： | 201110295589.9 | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102321912A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 杨永录;葛亮;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 缪利明 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 定位 装置 输出 机构 | ||
【权利要求书】：
1.晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，包括：
输出轴，在所述输出轴的一端设有铜螺母；
接近传感器，所述接近传感器设置在所述输出轴的外侧；
滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端与所述输出轴的一端连接；
密封装置，所述密封装置与所述滑移柱塞的另外一端连接。
2.根据权利要求1所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，所述滑移柱塞为中空的设计，在所述滑移柱塞内设有弹簧。
3.根据权利要求2所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，在所述弹簧的外侧设有铜螺母防转导槽。
4.根据权利要求2所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，在所述滑移柱塞相对于与所述输出轴连接端的另外一端上设有石墨耳座。
5.根据权利要求1所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，所述密封装置包括套杯以及设置在所述套杯一端的夹紧销。
6.根据权利要求5所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，在所述套杯设有所述夹紧销的一端的内壁上设有平板防转导槽。
7.根据权利要求1所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，所述接近传感器通过防滑平板与所述输出轴连接。
8.根据权利要求4或5所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，在所述套杯及所述滑移柱塞的外侧表面设有O形密封圈。
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