[发明专利]晶棒定位装置输出轴机构

说明书

技术领域

本发明涉及CZ法拉制单晶棒设备部件，特别是一种晶棒定位装置输出轴机构。

背景技术

现有生产领域使用的硅单晶炉，一般是单个上炉筒及拉晶系统，零部件数量繁多且不易加工制造，还会导致晶棒直接暴露在空气中容易氧化污染，所以上炉筒下方配备了独立的隔离阀。业内目前通常的做法是在硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒晶棒定位组件，同时也不能晶棒进行有效地定位。

发明内容

本发明的目的在于提供一种结构紧凑，零部件数量少且容易加工制造，可实现晶棒有效定位的晶棒定位装置输出轴机构。

本发明晶棒定位装置输出轴机构，包括：输出轴，在所述输出轴的一端设有铜螺母；接近传感器，所述接近传感器设置在所述输出轴的外侧；滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端与所述输出轴的一端连接；密封装置，所述密封装置与所述滑移柱塞的另外一端连接。

所述滑移柱塞为中空的设计，在所述滑移柱塞内设有弹簧。在所述弹簧的外侧设有铜螺母防转导槽。在所述滑移柱塞相对于与所述输出轴连接端的另外一端上设有石墨耳座。所述密封装置包括套杯以及设置在所述套杯一端的夹紧销。在所述套杯设有所述夹紧销的一端的内壁上设有平板防转导槽。所述接近传感器通过防滑平板与所述输出轴连接。在所述套杯及所述滑移柱塞的外侧表面设有O形密封圈。

本发明晶棒定位装置输出轴机构摒弃了原先硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒晶棒定位组件，利用设置在上炉筒外侧的减速器组件可实现晶棒有效定位，并且结构紧凑，零部件数量少且容易加工制造。

附图说明

图1为本发明晶棒定位装置输出轴机构结构爆炸示意图；

本发明晶棒定位装置输出轴机构附图中附图标记说明：

1-输出轴      2-滑移柱塞     3-弹簧

4-铜螺母      5-接近传感器   6-铜螺母防转导槽

7-石墨耳座    8-平板防转导槽 9-防滑平板

10-O形密封圈  11-套杯        12-夹紧销

具体实施方式

下面结合附图对本发明晶棒定位装置输出轴机构4作进一步详细说明。

如图1所示，本发明晶棒定位装置输出轴机构，输出轴1的输出端为一段螺纹，螺纹部位装有铜螺母4，铜螺母4外缘的方形耳与滑移柱塞2的矩形铜螺母防转导槽6配合限制铜螺母4在滑移柱塞2中的转动，铜螺母4前进时首先推压经过预压的弹簧3，弹簧3的预压力克服滑动摩擦推动滑移柱塞2在套杯11中做直线平移。防滑平板9通过螺钉与滑移柱塞10作刚性联接，防滑平板9外缘方耳与套杯8的矩形平板防转导槽8相配合限制滑移柱塞2在套杯11中的转动。

在滑移柱塞2的前端固定有石墨耳座7，定位时石墨耳座7和高温晶棒发生接触。基于高温和不对高温晶棒造成金属污染的考虑，石墨耳座7选材石墨。在密封装置靠近滑移柱塞2一端的外侧设置有夹紧销12。

石墨耳座7和晶棒接触，单晶炉原有LCR系统能够立即检测到晶棒接地，此时PLC要求直流减速电机停止转动，滑移柱塞2停止进给。能够把铜螺母4进给力传递给滑移柱塞2的弹簧3，可以缓冲直流减速电机的过冲运动，保护晶棒只受和弹簧3压缩力相等的定位力。在套杯11的外部装有接近传感器5，当滑移柱塞2回退时，可以检测到防滑平板9得接近，电气控制发指令，直流减速电机停止，滑移柱塞2停止回退。

本发明晶棒定位装置输出轴机构摒弃了原先硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒晶棒定位组件，利用设置在上炉筒外侧的减速器组件可实现晶棒有效定位，并且结构紧凑，零部件数量少且容易加工制造。

以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明，但本发明并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请的范围内。