[发明专利]一种包覆热压制备砷靶材的方法

权利要求书

1.一种包覆热压制备砷靶材的方法，其特征在于具体制备步骤包括如下：

（1）砷的冷压成型：在惰性气体气氛保护下，将高纯砷压制成片状；

（2）砷的热压致密化：在惰性气体气氛保护下，将冷压成型后的片状砷靶材放入金属模具内，并在靶材和金属模具之间放入隔离剂，之后对金属模具进行密封，然后在大气条件下，将密封完成后的金属模具放入热压模具内，并待热压模具加热至一定温度后对热压模具内的金属模具进行热压；

（3）冷却及脱模过程：将步骤（2）中的热压模具停止热压并使金属模具自然冷却，将金属模具从热压模具内取出，并在惰性气体气氛保护下将砷靶材从金属模具中取出，得到致密化的砷靶材。

2.根据权利要求书1所述的包覆热压制备砷靶材的方法，其特征在于：所述惰性气体包括He、Ne或Ar的一种或任意几种的混合气体。

3.根据权利要求书1所述的包覆热压制备砷靶材的方法，其特征在于：所述步骤（1）中高纯砷的纯度为99.99%。

4.根据权利要求书1所述的包覆热压制备砷靶材的方法，其特征在于：所述步骤（1）中压制片状高纯砷的压力为20MPa~40MPa。

5.根据权利要求书1所述的包覆热压制备砷靶材的方法，其特征在于：所述步骤（1）中得到的片状靶材的形状为圆柱状或棱柱状，圆柱状片的高度与直径的比值≤3，棱柱状片的高度与横截面对角线的比值≤3。

6.根据权利要求书1所述的包覆热压制备砷靶材的方法，其特征在于：所述步骤（2）中热压模具的加热温度为400～600℃，对热压模具内的金属模具施加的压力为400～600MPa，热压时间为1～30min。

7.根据权利要求书1所述的包覆热压制备砷靶材的方法，其特征在于：所述步骤（2）中的隔离剂为CaCl₂粉末或石墨。

8.根据权利要求书1所述的包覆热压制备砷靶材的方法，其特征在于：所述金属模具和热压模具的材料是黄铜或低碳钢。