[发明专利]一种晶圆固定装置及其使用方法有效
| 申请号： | 201110301030.2 | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN102339781A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 陈超;包中诚;华俊杰 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 固定 装置 及其 使用方法 | ||
1.一种晶圆固定装置，包括多个推动元件及其分别控制的多个夹具，其特征在于，包括：在所述多个推动元件上分别设置相互信号连接的监测元件，每个所述监测元件均与信号控制分析器连接。
2.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述推动元件为汽缸。
3.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，相互信号连接的监测元件的连接方式为串联。
4.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述推动元件的数量为3个。
5.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述夹具的数量为3个。
6.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述信号控制分析器包括报警元件。
7.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于，还包括多个推盘，多个所述推动元件分别与多个所述推盘连接，多个所述推盘与多个所述夹具连接。
8.一种利用如权利要求1所述的晶圆固定装置的使用方法，其特征在于，包括：
多个监测元件分别读取推动元件的位置移动信息；
将所述位置移动信息传送至信号控制分析器；
所述信号控制分析器比较每个所述推动元件的位置移动信息是否正常；
若位置移动信息异常，对所述晶圆固定装置进行检查。
9.根据权利要求8所述的晶圆固定装置的使用方法，其特征在于，所述位置移动信息包括所述推动元件上下移动的位移。
10.根据权利要求9所述的晶圆固定装置的使用方法，其特征在于，所述位置移动信息异常包括每个所述推动元件上下移动的位移不相等。
11.根据权利要求8所述的晶圆固定装置的使用方法，其特征在于，所述信号控制分析器包括报警元件，当位置移动信息异常时，所述报警元件发出报警信号。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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