[发明专利]一种晶圆固定装置及其使用方法

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造工艺技术领域，尤其涉及一种晶圆固定装置及其使用方法。

背景技术

制造具有微小结构的半导体元件需要高度精确的技术。在制造过程中，将晶圆置于承载台上，对晶圆进行不同制程时，需要将晶圆固定，而制程结束后又需要将晶圆取出，若晶圆固定或取出的时候有所偏差，容易对晶圆造成损伤，因此对晶圆的固定状态进行检测至关重要。图1为现有技术中晶圆固定装置的剖面结构示意图。参照图1，晶圆固定装置包括多个推动元件11，多个推动元件11固定在基板16内，与多个推动元件11分别连接的多个推盘12，所述多个推盘12分别与多个夹具13连接，推动元件11控制推盘12的运动，而推盘12控制夹具13的开合，在夹具处于开状态时，准备固定住晶圆，在夹具处于合状态时，准备取出晶圆。在其中一个推动元件11上设置监测元件14，通过该监测元件14监测与其对应的推动元件11是否正常工作，若有异常，对晶圆固定装置进行检验。监测元件14将监测得到的信息传输至信号控制分析器15，由信号控制分析器15作出信息有无异常的判断。但是若未安装监测元件14的推动元件11发生异常，或与其对应的夹具13发生异常，该监测元件14并不能检测出异常，因此可能发生的某个夹具13不能正常开合未被检测出，而最终导致由多个夹具13共同固定的晶圆，由于其中该夹具13的故障可能发生晶圆未固定好，晶圆容易发生倾斜，导致晶圆滑落，造成一定的经济损失。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供了一种晶圆固定装置及其使用方法，以解决仅仅通过检测晶圆固定装置中一个推动元件，无法避免其他推动元件发生故障对晶圆造成损伤的问题。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：本发明提供的晶圆固定装置包括多个推动元件及其分别控制的多个夹具，还包括：在所述多个推动元件上分别设置相互信号连接的监测元件，每个所述监测元件均与信号控制分析器连接。

进一步的，在所述晶圆固定装置中，所述推动元件为汽缸。

进一步的，在所述晶圆固定装置中，相互信号连接的监测元件的连接方式为串联。

进一步的，在所述晶圆固定装置中，所述推动元件的数量为3个。

进一步的，在所述晶圆固定装置中，所述夹具的数量为3个。

进一步的，在所述晶圆固定装置中，所述信号控制分析器包括报警元件。

进一步的，在所述晶圆固定装置中，还包括多个推盘，多个所述推动元件分别与多个所述推盘连接，多个所述推盘与多个所述夹具连接。

本发明还提供一种利用上述晶圆固定装置的使用方法，包括：多个监测元件分别读取推动元件的位置移动信息；将所述位置移动信息传送至信号控制分析器；所述信号控制分析器比较每个所述推动元件的位置移动信息是否正常；若位置移动信息异常，对所述晶圆固定装置进行检查。

进一步的，在所述晶圆固定装置的使用方法中，所述位置移动信息包括所述推动元件上下移动的位移。

进一步的，在所述晶圆固定装置的使用方法中，所述位置移动信息异常包括每个所述推动元件上下移动的位移不相等。

进一步的，在所述晶圆固定装置的使用方法中，所述信号控制分析器包括报警元件，当位置移动信息异常时，所述报警元件发出报警信号。

本发明提供的晶圆固定装置，在每个推动元件上均设置监测元件，以保证能够实时监测每个推动元件以及每个推动元件对应的夹具是否正常工作，从而保证每个夹具均能正常夹住晶圆。

本发明提供的晶圆固定装置的使用方法，多个监测元件分别读取推动元件的位置移动信息后，将所述位置移动信息传送至信号控制分析器，监测每个推动元件以及每个推动元件对应的夹具是否正常工作，从而保证经由夹具夹持的晶圆的作业安全性。

附图说明

图1为现有技术中晶圆固定装置的剖面结构示意图；

图2为本发明实施例提供的晶圆固定装置的剖面结构示意图；

图3为本发明实施例提供的晶圆固定装置的使用方法的步骤流程图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的一种晶圆固定装置及其使用方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。