[发明专利]一种用于太阳电池生产过程中去除花篮印的清洗方法

权利要求书

1.一种用于太阳电池生产过程中去除花篮印的清洗方法，其特征是在硅片表面吸附一层异丙醇保护层隔绝纯水、氧气与硅片的接触，去除去磷硅过程中产生的花篮印。

2.根据权利要求1所述的一种用于太阳电池生产过程中去除花篮印的清洗方法，将异丙醇和氢氟酸混合去除花篮印，其特征是含有以下步骤：

(1)1号槽(去磷硅槽)步骤：在槽中加入氢氟酸和异丙醇；异丙醇加和氢氟酸的重量配比为：氢氟酸8L-12L，异丙醇4L-8L，在循环反应时间为：120-300秒的作用下，去除硅片表面的磷硅玻璃，并在硅片表面吸附一层异丙醇保护层，隔绝纯水、氧气与硅片的接触；

(2)2号槽(快排槽)步骤：在大花篮放入槽内后，上下喷淋开始喷淋，当机械臂将处于槽内的大花篮挂臂上提时，随即马上进行自动快排；通过纯水的张力及吸附力，以及异丙醇和氢氟酸在纯水中溶解度不同，将从一号槽步骤带出的HF(无色透明发烟液体，为氟化氢气体的水溶液，呈弱酸性，有刺激性气味)；在二号槽步骤得到及时处理；

(3)大花篮通过去磷硅设备下料后，取小花篮放入烘干箱8-10min，烘干温度为80-90℃，异丙醇保护层通过烘干可去除干净。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于太阳电池生产过程中去除花篮印的清洗方法，其特征是：2号槽(快排槽)步骤中须确保氢氟酸不在残留在硅片上。

4.根据权利要求1或2所述的一种用于太阳电池生产过程中去除花篮印的清洗方法，其特征是：2号槽(快排槽)步骤中上下喷淋时间分别为120秒和180秒，快排时间为6秒，此操作周期为1栏/次。

5.根据权利要求1或2所述的一种用于太阳电池生产过程中去除花篮印的清洗方法，其特征是：氢氟酸和异丙醇可以用异戊醇、丙醇、乙醇、乙二醇、丁醇等其他的醇类，以及丙酮替代。