[发明专利]脆性材料基板的分断装置有效
申请号: | 201110304930.2 | 申请日: | 2011-09-30 |
公开(公告)号: | CN102441931A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 田端淳 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | B28B1/00 | 分类号: | B28B1/00;B23K26/36 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本大阪府吹田*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 脆性 材料 装置 | ||
1.一种脆性材料基板的分断装置,将脆性材料基板载置于平台上,以刻划形成手段沿折断预定线使龟裂或切槽产生而将脆性材料基板分断,其特征在于:
前述平台由主平台与旋动平台构成,旋动平台配置于刻划形成手段的附近且形成为可载置于分断时产生的脆性材料基板的端材;
前述旋动平台是形成为可在使端材附着的状态下从水平的姿势旋动至倾倒姿势;
设有在旋动平台的倾倒姿势将附着于旋动平台的端材推落的推出棒。
2.如权利要求1所述的脆性材料基板的分断装置,其特征在于其中,前述旋动平台、主平台、推出棒是夹刻划形成手段以左右一对形成。
3.如权利要求1或2所述的脆性材料基板的分断装置,其特征在于其中,在前述旋动平台与主平台之间形成有移动空间,使旋动平台在经过此移动空间往从刻划形成手段远离的方向水平移动后旋动至倾倒姿势。
4.如权利要求2所述的脆性材料基板的分断装置,其特征在于其中,前述刻划形成手段是由激光光束照射部与冷媒液喷射喷嘴构成,在左右的旋动平台之间配置于其下方。
5.如权利要求3所述的脆性材料基板的分断装置,其特征在于其中,前述刻划形成手段是由激光光束照射部与冷媒液喷射喷嘴构成,在左右的旋动平台之间配置于其下方。
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