[发明专利]工作粘附卡盘装置及工件贴合机

权利要求书

1.一种工件粘附卡盘装置，其特征在于，具备：

粘附部件，被设置成与板状工件对置且装卸自如地粘附保持该板状工件；

剥离部件，被设置成向与所述板状工件交叉的方向变形来使所述板状工件从所述粘附部件的粘附面强制性地剥离；

支承部件，被设置于所述剥离部件的背后且具有沿所述剥离部件的表面及侧面；及

环状部件，被设置成包围所述支承部件的所述侧面的外周，

所述剥离部件具有：变形部，被形成为可沿所述支承部件的所述表面变形；安装凸部，被形成为从该变形部的外周沿所述支承部件的所述侧面朝向所述环状部件突出；及卡合槽，嵌合在所述支承部件的所述侧面形成的卡合凸部，

所述环状部件具有：卡止凹部，将所述剥离部件的所述安装凸部以无法向所述变形部的变形方向移动的方式夹入所述支承部件的所述侧面及所述卡合凸部之间；及安装面，与所述变形部的外边邻接而被安装所述粘附部件。

2.如权利要求1所述的工件粘附卡盘装置，其特征在于，

所述剥离部件具有被形成为从所述变形部的外周沿所述支承部件的所述侧面向厚度方向延伸的脚部，所述安装凸部被形成为从所述脚部朝向所述环状部件突出。

3.如权利要求1或2所述的工件粘附卡盘装置，其特征在于，

在所述支承部件的中央被形成使所述剥离部件的所述变形部变形的流体通道，

在所述变形部的里面或所述支承部件的表面中的任一方，或者在所述变形部的里面及所述支承部件的表面两方形成以所述通道为中心向放射方向连通的扩散路。

4.如权利要求3所述的工件粘附卡盘装置，其特征在于，

在所述通道的外侧，以包围所述支承部件的外周的方式形成截断从该通道连结至所述环状部件的流道的环状密封部。

5.一种工件贴合机，其特征在于，

在相对置的一对保持板中的任一方或两方设置如权利要求1～4中的任一项所述的工件粘附卡盘装置，通过所述工件粘附卡盘装置粘附保持所述板状工件的同时进行剥离，从而与另外一个板状工件重叠。