[发明专利]大型前开式圆片盒

说明书

技术领域

本发明是有关于一种前开式圆片盒，特别是有关于一种大型的前开式圆片盒的结构。于本发明的大型前开式圆片盒结构中，每一个支撑件模块是由第一材质所形成，且每一个支撑件模块是经由一个第二材质的定位柱被锁固于大型前开式圆片盒的容置空间中的左侧面及右侧面的内侧面上；以及于大型前开式圆片盒的上侧面上进一步配置一顶式升降搬运垫(OHTpad)，使得前开式圆片盒与顶式升降搬运头(Overhead Hoist Transport head；OHT head)接合后，能由此高硬度的顶式升降搬运垫将机械手臂调挂的力量平均分散在大型前开式圆片盒上，使大型前开式圆片盒在搬运时能够更稳固。

背景技术

半导体圆片在制造程序中会有许多的程序或步骤，而圆片则会因这些程序或步骤，需要置放于不同的位置以及不同的机器中，因此于制备过程中圆片必须从一处运送至另一处，甚至必须储存一段时间，以配合必要的制备过程。其中，圆片承载装置(Cassette)同时具备储存及运送功能，并且需适用于各种型式的运输及传送装置，因此在半导体圆片在制造程序中扮演了极为重要的角色。

如图1所示，图1为一般前开式圆片盒(Front Opening Unified Pod；FOUP)，圆片盒通常为一体射出成型，具有一盒体A，并且在盒体A的内侧配置复数个圆片支撑件B，圆片支撑件B可为与盒体A一体射出成型，或者在盒体A一体射出成型时，同时形成复数个卡槽，再将圆片支撑件B卡入一体射出成型的卡槽中。

然而，当圆片越大时，例如：当圆片尺寸超过300mm时，所需的圆片盒亦需增大，但大型的圆片盒使用高分子材料射出成型时，其盒体成型时，可能会有高分子材料所产生的应力而造成盒体扭曲，因此可能导致一体射出成型的圆片支撑件或者卡槽扭曲；而圆片支撑件或卡槽为左右两边对齐(以使放置的圆片片保持水平)，些微的扭曲可能会产生歪斜，导致放置的圆片片无法保持水平，进而影响制备过程，更甚者可能造成圆片破裂而导致严重的损失。

另外，一般前开式圆片盒在运送圆片盒时，会采用顶式升降搬运系统(OHT)，因此，均会在前开式圆片盒上方配置一个顶式升降搬运头C(如图1所示)，以供机械手臂(Robot)抓取吊挂至别的制备过程工作站；而一般顶式升降搬运头C多以中央处复数个锁固件锁固。

大型的前开式圆片盒，因其中搭载大型圆片片，在总重量上会比一般小型圆片盒沉重，如以一般顶式升降搬运头C，在中央处以复数个锁固件锁固，顶式升降搬运头C因负荷大型前开式圆片盒及其内圆片片重量，容易使该前开式圆片盒顶面变形甚至发生顶面破损，使顶式升降搬运头C与大型前开式圆片盒分离摔落损毁，造成更大的成本损失。

另外，人工搬运大型的前开式圆片盒时，以开口朝上方式移动前开式圆片盒，当前开式圆片盒放置在平面过程中，因其内搭载大型圆片片的重量，容易使前开式圆片盒与平面产生相当冲击，导致大型圆片片因冲击而裂损或产生缺角。

发明内容

本发明的目的在于提供一种大型前开式圆片盒，以解决上述背景技术中存在的问题。

为实现上述目的，本发明提供的前开式圆片盒，包括一与后侧面连接成一体的左侧面、右侧面、上侧面及下侧面所组成的盒体，以使该盒体具有一容置空间，而相对于该后侧面另一侧为一开口，及一门体，与该盒体的开口大小相符，用以封闭该盒体的该开口，其中该前开式圆片盒的特征在于：

复数个第一贯穿孔，形成于该盒体的该左侧面及该右侧面的前端与后端附近处；

复数个定位柱，其上形成有复数个第二贯穿孔，该些第二贯穿孔与该些第一贯穿孔相对应地配置，每一该定位柱经由多个第一锁固件与部份该第二贯穿孔及部份该第一贯穿孔接合，以将该复数个定位柱锁固于该盒体的该左侧面及该右侧面的外侧面上；及

复数个支撑件模块，每一该支撑件模块的一侧面上形成有复数个凸出的锁固孔，而另一侧面形成有多个呈横向且间隔排列的肋，且每一该支撑件模块经由该些凸出的锁固孔通过该盒体的该左侧面及该右侧面的其余的该些第一贯穿孔及每一该定位柱上其余的该些第二贯穿孔后，再由多个第二锁固件将该些支撑件模块固定于该左侧面及该右侧面的内侧面上。

所述的前开式圆片盒，其中，该盒体的该上侧面上形成一凸柱以及复数个配置于该凸柱周围的第一螺柱，且于该盒体的该上侧面上配置一顶式升降搬运垫及一顶式升降搬运头，其中：

该顶式升降搬运垫配置于该盒体的该上侧面上，该顶式升降搬运垫的中央处形成一通孔，并于该通孔周围上形成多个凸出的第二螺柱是与每一该第一螺柱相应地配置；