[发明专利]一种Cu2O多孔微米/纳米立方体的半导体材料及其制备方法无效
申请号: | 201110318546.8 | 申请日: | 2011-10-19 |
公开(公告)号: | CN102503547A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 石慧;郁可;朱自强 | 申请(专利权)人: | 华东师范大学 |
主分类号: | C04B41/50 | 分类号: | C04B41/50;B82Y40/00 |
代理公司: | 上海麦其知识产权代理事务所(普通合伙) 31257 | 代理人: | 董红曼 |
地址: | 200062 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cu sub 多孔 微米 纳米 立方体 半导体材料 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明属于光电子材料、半导体材料与器件技术领域,具体地说,本发明涉及一种Cu2O多孔微米/纳米立方体结构的半导体材料及其制备方法。
背景技术
Cu2O是一种p型半导体材料,其直接带隙约为2.17eV,具有很多独特的电学、光学和磁学性能,因而其在太阳能转换、光催化、传感器、抗菌、锂电池的电极的制作等领域具有广泛的应用。
过去的几十年,人们利用电化学沉积,水热等方法制备出了各种不同的Cu2O纳米结构,例如纳米线,立方体,八面体,十二面体,二十六面体,空心球等,并对这些纳米结构的各种光电特性进行了研究。近年来的研究热点主要是对Cu2O形貌的控制生长,实现大产量的制备,但是迄今为止能应用于大规模生产特点形貌的方法很少。众所周知,多孔结构的微米或纳米半导体材料往往具有很大的表面积,这很有助于提高气体传感性及响应速度,在传感器领域有很大的潜在应用空间。此外,Cu2O微米/纳米晶体是很好的光催化材料,已经有几十年的研究历史了,多孔结构所具有的高表面积也有助于促进光催化性能,
本发明解决了现有技术中微米/纳米级多孔结构的半导体材料的制备方法中所存在的成本高、成功率低等问题,提出了一种Cu2O多孔微米/纳米立方体结构的半导体材料的制备方法,其具有产量大、成本低、重复性高等优点。本发明采用该制备方法首次制备出Cu2O多孔微米/纳米立方体结构的半导体材料,这种Cu2O多孔微米/纳米立方体结构的半导体材料形貌特别,既具有多孔结构比表面积大的特点,使得其非常适用于传感器应用;而其表面的纳米级分支结构具有较大纵横比,有利于尖端放电,使得其适用于场发射器件应用。
发明内容
本发明提出了一种Cu2O多孔微米/纳米立方体的半导体材料,包括硅片衬底和沉积在所述硅片衬底表面的微米/纳米立方体结构Cu2O晶体。
其中,所述的微米/纳米立方体结构Cu2O晶体包括立方体结构和生长在所述立方体结构表面的纳米级分支;其中,所述纳米级分支沿着<110>方向且垂直于所述立方体结构的边界生长。
其中,所述立方体结构的边界长为3-5μm,所述纳米级分支的长度为10nm-1μm。
本发明还提出了一种所述Cu2O多孔微米/纳米立方体的半导体材料的制备方法,包括:
步骤a、将无水乙醇和水混合作为溶剂,加入Cu(CH3COO)2·H2O粉末和吡咯,搅拌均匀得到待反应液;
步骤b、将硅片水平放置在反应釜底部,缓缓加入所述待反应液;
步骤c、将所述反应釜密封,于160-190℃下进行反应2.5-3小时;
步骤d、取出硅片,于60-70℃下烘干,得到所述Cu2O多孔微米/纳米立方体的半导体材料。
其中,所述步骤a中无水乙醇和水的比例为1:2-2:7,所述Cu(CH3COO)2·H2O粉末和吡咯的加入量摩尔比为1:3-1:4;其中,Cu(CH3COO)2·H2O粉末的加入量为25±2.5mM/100mL溶剂。
其中,所述Cu(CH3COO)2·H2O粉末和吡咯均为分析纯。
其中,所述反应釜为100mL容量的特氟龙反应釜。
本发明中微米/纳米立方体结构Cu2O晶体是指主结构为微米级的立方体结构,且在该主结构表面上生长有纳米级分支的Cu2O晶体结构。根据XRD和TEM数据表征,所述纳米级分支沿着<110>方向生长,纳米级分支垂直于Cu2O立方体主结构的十二条边界表面生长。
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