[发明专利]样品检验系统以及使用所述样品检验系统检验样品的方法

权利要求书

1.一种检验系统，其包括：

第一光学检验装置，其用以在宏观级或中观级下放大并观测样品；

第二光学检验装置，其与所述第一光学检验装置通信且用以在微观级下放大并观测样品；

扫描电子检验装置，其与所述第一光学检验装置以及所述第二光学检验装置通信且用以通过用电子束扫描样品而放大并观测所述样品；以及

机器人臂，其用以将样品携带到所述第一光学检验装置、所述第二光学检验装置以及所述扫描电子检验装置。

2.根据权利要求1所述的检验系统，其中所述扫描电子检验装置从样品捕捉三维图像。

3.根据权利要求1或2所述的检验系统，其进一步包括：

第一载台，其安置于对应于所述第一光学检验装置的下侧的位置处以用于支撑样品；

第二载台，其安置于对应于所述第二光学检验装置的下侧的位置处以用于支撑样品；以及

第三载台，其安置于对应于所述扫描电子检验装置的下侧的位置处。

4.根据权利要求3所述的检验系统，其进一步包括用以水平地移动所述第一载台到所述第三载台的第一可水平移动部件到第三可水平移动部件。

5.一种使用检验系统检验样品的方法，所述检验系统包括：第一光学检验装置，其用以在宏观级或中观级下放大并观测所述样品；第二光学检验装置，其用以在微观级下放大并观测所述样品；以及扫描电子检验装置，其用以放大并观测所述样品，所述方法包括：

通过使用所述第一光学检验装置完全检验所述样品；

确定所述样品是否有缺陷；

在确定所述样品并非有缺陷的情况下，终止所述样品的检验；以及

在确定所述样品有缺陷的情况下，根据所述样品的表面形状使用所述第二光学检验装置或所述扫描电子检验装置检验所述样品。

6.根据权利要求5所述的方法，其中在所述使用所述第二光学检验装置或所述扫描电子检验装置检验所述样品之前，所述方法进一步包括确定所述样品的所述表面形状。

7.根据权利要求5所述的方法，其中所述样品在其一侧上具有多个凸-凹结构。

8.根据权利要求5到7中任一项所述的方法，其中如果所述样品具有尖锐部分，那么在使用所述第一光学检验装置检验所述样品之后使用所述扫描电子检验装置检验所述样品。

9.根据权利要求5或7所述的方法，其中如果所述样品并不具有尖锐部分，那么在使用所述第一光学检验装置检验所述样品之后使用所述第二光学检验装置或所述扫描电子检验装置检验所述样品。

10.根据权利要求5所述的方法，其中如果使用所述第二光学检验装置或所述扫描电子检验装置检验所述样品，所述样品的一部分被放大并观测。

11.根据权利要求5所述的方法，其中所述第二光学检验装置或所述扫描电子检验装置从所述第一光学检验装置接收关于所述样品的缺陷的位置信息以便基于所述位置信息而放大所述样品。