[发明专利]感光性元件在审
申请号: | 201110327370.2 | 申请日: | 2007-12-07 |
公开(公告)号: | CN102360163A | 公开(公告)日: | 2012-02-22 |
发明(设计)人: | 久保田雅夫 | 申请(专利权)人: | 日立化成工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/09 | 分类号: | G03F7/09;G03F7/033 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;金鲜英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 元件 | ||
1.感光性元件,其具备支承膜和设置于上述支承膜的第一主表面上的含 有感光性树脂组合物的层,
上述支承膜的雾度为1.0%以下,并且与上述支承膜的上述第一主表面相 反侧的第二主表面的表面电阻率为1013Ω以下,
上述含有感光性树脂组合物的层含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物及光 聚合引发剂,所述粘合剂聚合物含有下述通式(I)表示的化合物及(甲基) 丙烯酸作为单体单元;
H2C=CR1-COOR2 (I)
式(I)中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳数为3~7的烷基。
2.根据权利要求1所述的感光性元件,上述粘合剂聚合物含有上述通式 (I)表示的化合物5~45质量%及(甲基)丙烯酸20~40质量%作为单体单元。
3.根据权利要求1所述的感光性元件,上述粘合剂聚合物还含有苯乙烯 和/或苯乙烯衍生物作为单体单元。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性元件,上述支承膜是含有选 自由聚对苯二甲酸乙二酯、聚丙烯、聚乙烯及聚酯组成的组中的一种以上的聚 合物作为主成分的膜。
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