[发明专利]一种紫外激光蚀刻机无效
| 申请号： | 201110338390.X | 申请日： | 2011-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN102500929A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 段光前;龚志伟;徐延 | 申请（专利权）人： | 武汉先河激光技术有限公司;黄石瑞视光电技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/08;B23K26/42;C03C15/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 激光 蚀刻 | ||
【权利要求书】：
1.一种紫外激光蚀刻机，其特征在于，包括机座，机座上安放有吸附平台和垂直升降机构，垂直升降机构上安放有紫外激光器。
2.根据权利要求1所述的紫外激光蚀刻机，其特征在于，所述吸附平台包括上层、中层和下层，上层和中层开有一一对应的通孔，下层内部开有正对所有通孔的空腔，下层的空腔壁上开有抽气孔，相邻层之间气密性连接。
3.根据权利要求1所述的紫外激光蚀刻机，其特征在于，所述垂直升降机构包括安放在所述机座上的立柱，立柱的顶面和底面与机座的顶面平行；立柱的顶面上安放有垂直升降机，垂直升降机的升降平台上安放有由多层板叠放的多层调节板组件，多层调节板组件的顶部设有垂直板，垂直板的背部安有加强筋板，所述激光器放于多层调节板组件的顶部。
4.根据权利要求3所述的紫外激光蚀刻机，其特征在于，所述多层调节板组件采用轻质合金材料制成。
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