[发明专利]一种紫外激光蚀刻机

说明书

技术领域

本发明涉及激光加工领域，特别涉及一种紫外激光蚀刻机，适用于ITO膜/玻璃上蚀刻各种精细的图形和尺寸。

背景技术

如何在ITO膜/玻璃上蚀刻精细的图形和尺寸是人们极其关注的问题。采用印刷技术和在酸液中蚀刻图形是常规的生产技术之一。由于其图形的精度及线宽不达标的影响，很难用于高端产品和规模化生产；废酸液的排放和治理又涉及到不得不考虑的环保问题。

发明内容

针对上述现有技术存在的缺点，本发明所提供的一种紫外蚀刻机，可在ITO膜/玻璃上蚀刻出各种精确尺寸的图形。

一种紫外激光蚀刻机，其特征在于，包括机座，机座上安放有吸附平台和垂直升降机构，垂直升降机构上安放有紫外激光器。

进一步地，所述吸附平台包括上层、中层和下层，上层和中层开有一一对应的通孔，下层内部开有正对所有通孔的空腔，下层的空腔壁上开有抽气孔，相邻层之间气密性连接。

进一步地，所述垂直升降机构包括安放在所述机座上的立柱，立柱的顶面和底面与机座的顶面平行；立柱的顶面上安放有垂直升降机，垂直升降机的升降平台上安放有由多层板叠放的多层调节板组件，多层调节板组件的顶部设有垂直板，垂直板的背部安有加强筋板，所述激光器放于多层调节板组件的顶部。

进一步地，所述多层调节板组件采用轻质合金材料制成。

本发明的技术效果体现在：本发明可在ITO膜/玻璃上蚀刻出各种精确尺寸的图形，蚀刻线宽可小于0.05MM、面积达到600×600MM、速度高达7000MM/S，有助于实现在触摸屏、LCD屏的规模化生产，也消除了废酸液对环境的污染问题，节约了治污而耗费数倍于购置本蚀刻机的资金。

附图说明

图1为本发明激光蚀刻机结构图。

具体实施方式

下面参见附图详细说明本发明的具体实施方式。

参见图1，本发明激光蚀刻机包括机座、吸附平台、垂直升降机构和激光器。

机座包括底座1b和放于其上方的光学平台1a。光学平台1a由整块厚实的花岗岩制成；底座1b由金属结构件制成，其下端装有若干调整脚1c。光学平台1a与底座1b采用牢固而具有一定弹性的连接，加上调整脚的调节性能，一并将机座调整至水平、稳定而墩实的光学平台。

吸附平台由上、中、下层三部分构成。上层2a可采用工程塑料制作，在数控机床上按设计要求获取尺寸精确、表面光滑、分布均匀的若干个小通孔。中层2b采用加工性能好的轻质合金材料制作成与上层通孔一一对应的若干个小通孔。可将上、中层栓在一起一并制作，可获得更佳的效果。下层2c外框尺寸与上、中一样大小，内部有一空腔，上、中层的全部小通孔均正对空腔，下层的空腔壁上开有一螺孔，以便安装抽气管道。上、中、下层之间采用气密性连接，以便在工作时抽尽吸附平台中的气体，而将大面积IT0膜/玻璃牢牢吸附在上层上，以便对其蚀刻。吸附平台采机械连接方式安装在光学平台上的相应连接孔中，并可调整与光学平台一样的水平程度，以达到被吸附的膜也呈水平状态，而保证蚀刻质量。

垂直升降机构包括安装在光学平台1a上的立柱3，也用同一样花岗岩制成，色彩一致，融于一体。顶面和底面与光学平台1a平行，底面紧固安装在光学平台1a上，顶面安放有垂直升降机。垂直升降机的机架用金属材料经精加工而成，其上配以滑道和垂直精密丝焊，通过旋转顶部的手轮，就可提升或下降吸附平台，从而使固定在平台上的紫外激光器等装置的升降要求。垂直升降机的升降平台上安设有由多层轻质合金材料板叠放构成的多层调节板组件5，用于对紫外激光器进行精确地升降调节、水平方的精确调节、旋转方向以及俯仰方向的精确调节等，以满足激光对光学调节的各项要求，以达到精确蚀刻图形和尺寸的要求。多层调节板顶部安装了垂直板6，并在其后面的两端安装了三角形的加强筋板，也均用轻质合金材料制作，用于安装重要的光学镜头组件，并保证其高稳定性。

紫外激光器7用工程塑料支架牢固地安装在多层调节板组件5上。塑料支架保证了激光的稳定性和柔软性。为保证激光器长时间(24小时/天)连续稳定运行和防止过热烧毁。特采用制冷系统而可靠地解决了连续稳定运行，确保规模化生产。