[发明专利]一种测量微蚀速率的方法

权利要求书

1.一种测量微蚀速率的方法，其特征在于，所述方法包括以下次序的步骤：

(1)测量待测铜板的面积S；

(2)获取所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM以及记录所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT；

(3)根据所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM和所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT，计算微蚀速率。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM包括：

称取所述待测铜板置入微蚀液前的质量m1；

将所述待测铜板置入微蚀液微蚀时间ΔT；

取出经过微蚀的待测铜板烘干；

称取所述烘干后的待测铜板质量m2；

计算质量m1与质量m2的差值，所述差值为所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述称取所述待测铜板置入微蚀液前的质量m1和所述称取所述烘干后的待测铜板质量m2具体为：

采用天平称取所述待测铜板置入微蚀液前的质量m1和所述烘干后的待测铜板质量m2。

4.如权利要求1至3任意一项所述的方法，其特征在于，若所述面积S以平方厘米计，质量差ΔM以克计，所述时间ΔT以分钟计，则所述计算微蚀速率为：

计算E＝ΔM×Q/ρ×S×ΔT，其中，ρ为铜的密度并以克每立方厘米计，Q为单位换算量，其值为1000μm/cm，E为所述微蚀速率。

5.如权利要求1至3任意一项所述的方法，其特征在于，所述待测铜板的形状为规则几何形状。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述规则几何形状为圆形、三角形或矩形。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，规则几何形状为矩形

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述矩形是正方形。