[发明专利]用于多晶线切方高切速切割的装置及其工艺

权利要求书

1.一种用于多晶线切方高切速切割的装置，包括主轴传动控制模块、推进结构、若干根钢线、浆液供给装置和浆液连接管，若干根钢线均匀布置且若干根钢线绕设于主轴传动控制模块上，主轴传动控制模块与机架固定连接，主轴传动控制模块驱动钢线传动，推进结构上放置多晶铸锭，浆液供给装置与浆液连接管连接，其特征在于，还包括若干个喷嘴和带有若干个导流孔的固定网板，固定网板与机架固定连接，若干个喷嘴的浆液输入端与浆液连接管连接，若干个喷嘴的浆液输出端插入对应的固定网板的导流孔中，固定网板与机架固定连接。

2.根据权利要求1所述的用于多晶线切方高切速切割的装置，其特征是，所述固定网板的导流孔是成矩形阵列均匀分布的。

3.根据权利要求2所述的用于多晶线切方高切速切割的装置，其特征是，所述导流孔为通孔，导流孔的直径为10mm。

4.根据权利要求1所述的用于多晶线切方高切速切割的装置，其特征是，所述多晶铸锭的切割面上有纵向和横向的等间距的划线标记，该划线标记将多晶铸锭的切割面均分为若干个正方形单元，每个正方形单元即为一个分割单元；

所述正方形单元的边长和相邻钢线的间距相等。

5.根据权利要求1所述的用于多晶线切方高切速切割的装置，其特征是，所述喷嘴采用软管制成。

6.根据权利要求1所述的用于多晶线切方高切速切割的装置，其特征是，所述钢线的直径为0.3mm。

7.一种用于多晶线切方高切速切割的工艺，其特征是，包括以下步骤：

第一步：推进结构向上运动至砂浆流量观察位置，浆液供给装置通过浆液连接管使砂浆流到多晶铸锭上；

第二步：调整喷嘴位置，使每个喷嘴的砂浆滴到对应的多晶铸锭每个分割单元的中心位置；

第三步：主轴传动控制模块打开，若干根钢线开始运行；

第四步：推进结构向上运动，当推进结构运动至使钢线完全切割到多晶铸锭底部时，推进结构停止运动；

第五步：推进结构向下运动至砂浆流量观察位置；

第六步：推进结构绕着推进结构的中心旋转90度；

第七步：推进结构向上运动，当推进结构运动至使钢线完全切割到多晶铸锭底部时，推进结构停止运动。

8.根据权利要求7所述的用于多晶线切方高切速切割的工艺，其特征是，所述步骤第一步中，推进结构向上运动至砂浆流量观察位置时，多晶铸锭的切割面与固定网板底面的距离为640mm。

9.根据权利要求7所述的用于多晶线切方高切速切割的工艺，其特征是，所述步骤第二步中，调整喷嘴位置的方式为通过判定砂浆滴到对应的多晶铸锭的切割面的每个分割单元的位置，调整喷嘴插入固定网板的导流孔位置，保证砂浆滴到对应的多晶铸锭的切割面的每个分割单元的中心位置。