[发明专利]一种动镜二维平面调整装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种光刻机中动镜的安装与调整，也可用于企业生产中对工件的安装检测与调试。

背景技术

在投影光刻机中当物镜装调完成后，由于在制造过程中不可避免的出现加工误差以及装配过程中产生的装配误差，会造成物镜系统成像质量下降，偏离理论值，为改善成像质量，需要对物镜中某些特定镜片进行X、Y方向上的调节，以校正装配误差，提高成像质量。

发明内容

为了解决现有技术的问题，本发明的目的是提供一种动镜微调装置，使得动镜在安装调整过程中不会因外力的作用而产生应力变形，提高了物镜对轴心的装调精度，保证了物镜的光轴与硅片面垂直，并且，调整完成后的柔性机构具有良好的刚性和热稳定性，保证像质和焦面稳定，保证了光刻质量。

为了实现所述目的，本发明提供一种动镜二维平面调整装置，所述装置由第一连杆、第二连杆、第一柔性铰链、第二柔性铰链、第三柔性铰链、第四柔性铰链、第五柔性铰链、第六柔性铰链、第七柔性铰链、第八柔性铰链、第一驱动器、第一压电陶瓷、第二驱动器、第二压电陶瓷和支撑架构成；所述支撑架分为第一层支撑架、第二层支撑架和第三层支撑架，所述第一层支撑架、第二层支撑架和第三层支撑架在同一平面上；

在第一层支撑架上固定有第一驱动器；第一柔性铰链、第二柔性铰链、第三柔性铰链、第四柔性铰链位于第一层支撑架和第二层支撑架之间；第一柔性铰链的外支点、第二柔性铰链的外支点、第三柔性铰链的外支点、第四柔性铰链的外支点位于第一层支撑架上，并通过这四个柔性铰链上的四个内支点与第二层支撑架相连；

在第二层支撑架上固定有第二驱动器；第五柔性铰链、第六柔性铰链、第七柔性铰链、第八柔性铰链位于第二层支撑架和第三层支撑架之间；第五柔性铰链的外支点、第六柔性铰链的外支点、第七柔性铰链的外支点、第八柔性铰链的外支点位于第二层支撑架上，并通过这四个柔性铰链上的四个内支点与第三层支撑架相连；

第一压电陶瓷固接在第一驱动器上；

第一压电陶瓷与第一连杆相连，第一连杆与第二层支撑架的顶端相连；

第二压电陶瓷固接在第二驱动器上；

第二压电陶瓷与第二连杆相连，第二连杆与第三层支撑架的左端相连；

调整动镜镜片在时，在所述的支撑架上的八个相同的所述柔性铰链对动镜在X、Y方向上的位置进行调节。

优选实施例：所述第一柔性铰链、第二柔性铰链、第三柔性铰链、第四柔性铰链上分别具有一外支点，所述外支点位于第一层支撑架上，并每相邻的柔性铰链之间分别都开有穿透支撑架的沟槽。

优选实施例：所述第五柔性铰链、第六柔性铰链、第七柔性铰链、第八柔性铰链上分别具有一外支点，所述外支点位于第二层支撑架上，并每相邻的所述柔性铰链之间都开设有穿透支撑架的沟槽。

优选实施例：支撑架用65Mn金属材料制成。

优选实施例：支撑架的中央开有一个带台阶的通孔，动镜安放在通孔内的台阶上。

优选实施例：位于第一层支撑架和第二层支撑架上的上下相对放置的两个柔性铰链的中心点在同一条中心线上；上下相对放置的两个柔性铰链的圆弧的中心点也在同一条中心线上。

优选实施例：位于第一层支撑架和第二层支撑架上的左右相对放置的两个柔性铰链的中心点在同一条中心线上；相对放置的柔性铰链的圆弧的中心点也在同一条中心线上。

本装置通过对支撑架进行平面分层，并通过各层支撑架上的柔性铰链对动镜进行二维平面微动调整。

本发明的有益效果是：在投影光刻机中当物镜装调完成后，由于在制造过程中不可避免的出现加工误差以及装配过程中产生的装配误差，会造成物镜系统成像质量下降，偏离理论值，为改善成像质量，需要对物镜中某些特定镜片进行X、Y方向上的微动调节，以校正装配误差，提高成像质量。本发明的装置运用了杠杆原理，使动镜在调整时，灵敏度高、没有无效运动干预，控制精度高。本发明的装置在调整动镜位置时，动镜不受内应力影响，没有无效运动干预，传递效率高；而且，调整完成后柔性铰链的刚性和热稳定性非常好，保证了像质和焦面的稳定。支撑架用65Mn金属材料制成，使柔性铰链具有良好的弹性性能。

附图说明

图1是本发明的动镜二维平面调整装置的俯视示意图；

图2是图1支撑架的辅助俯视示意图；

图3是支撑架K-K向剖视图；

图4是支撑架P-P向剖视图；

图5是支撑架立体示意图；

具体实施方式