[发明专利]紫外激光固化布线方法有效
| 申请号： | 201110344285.7 | 申请日： | 2011-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN102426413A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 陈栋南 | 申请（专利权）人： | 牧东光电(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G06F3/041 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215126 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 紫外 激光 固化 布线 方法 | ||
1.一种紫外激光固化布线方法，其特征在于，包括：
在千级无尘室中，
光学级PET基层单面镀金属导电材料的步骤；
在光学级PET基层金属导电材料上贴含固化剂的光阻膜后，并且烘烤的步骤；
用紫外激光曝光含固化剂的光阻膜，10％的KOH溶液显影，3.5mol/L的盐酸蚀刻，3.5％的NaOH溶液脱膜，形成电极走线和金属串联感应单元组的步骤。
2.如权利要求1所述紫外激光固化布线方法，其特征在于：所述金属导电材料为铜、铜铌铬合金或者银钯铜合金构成；金属表面方阻值为0.1欧姆～0.3欧姆。
3.如权利要求1所述紫外激光固化布线方法，其特征在于：所述光学级PET基层厚度为50微米～200微米；金属串联感应单元组和电极走线的厚度为金属串联感应单元组的线迹宽度为1微米～10微米。
4.如权利要求1所述紫外激光固化布线方法，其特征在于：所述含固化剂的光阻膜的厚度为4微米～6微米；其中，固化剂为自由基光引发剂和阳离子光引发剂；含固化剂的光阻膜为负型光阻。
5.如权利要求1所述紫外激光固化布线方法，其特征在于：所述烘烤温度为133摄氏度～137摄氏度，烘烤时间为14分钟～16分钟。
6.如权利要求1所述紫外激光固化布线方法，其特征在于：所述紫外激光的波长365纳米，紫外激光的功率为5KW，紫外激光的光束直径为1微米～10微米，紫外激光的光照速度为2米/秒。
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