[发明专利]紫外激光固化布线方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种紫外激光固化布线方法，属于触控面板感应线迹和电极走线制程技术领域。

背景技术

激光与其他加工方法相比，具有高速度、高精度和高适应性的特点，所以被广泛应用精确加工领域。本发明正是利用激光镭射可以精确加工的特点，来适应触控面板的加工工艺越来越高的要求。

激光加工中依据被加工材料的不同特点及对不同波长的激光的吸收程度不同，来选择某一特定波长的激光对材料进行加工，以达到最好的加工效果。紫外波长激光非常适合处理触控面板这类聚合物材料。与红外激光加工不同，紫外激光不是“热”处理过程，紫外激光高能量的光子可以直接破坏材料的化学键，称为“光蚀”效应。可见光和红外光激光束是利用聚焦到加工部位的热量来熔化材料，会产生热影响区；而紫外激光加工是“冷”处理过程，热影响区域小，加工出来的部件具有光滑的边缘和低限度的碳化烧灼影响。

阳离子光引发剂有对氧分子不敏感性、后期暗聚合、低的收缩率、粘接性能好、耐化学腐蚀性和较快的聚合速度的特点。紫外光对含有阳离子光引发剂的光阻膜曝光固化，有利于线迹完整牢固保证触摸信号的传输。

发明内容

技术问题：本发明针对在加工触控面板的感应层工艺中使用了紫外激光镭射加工方式与固化剂结合增加线迹的牢固品质，提出一种产品良率和触控精准度高，能提高生产效率的紫外激光固化布线方法。

技术方案：本发明公开了一种紫外激光固化布线方法，包括：

在千级无尘室中，

光学级PET基层单面镀金属导电材料的步骤；

在光学级PET基层金属导电材料上贴含固化剂的光阻膜后，并且烘烤的步骤；

用紫外激光曝光含固化剂的光阻膜，10％的KOH溶液显影，3.5mol/L的盐酸蚀刻，3.5％的NaOH溶液脱膜，形成电极走线和金属串联感应单元组的步骤。

上述金属导电材料为铜、铜铌铬合金或者银钯铜合金构成；金属表面方阻值为0.1欧姆～0.3欧姆。光学级PET基层厚度为50微米～200微米；金属串联感应单元组和电极走线的厚度为金属串联感应单元组的线迹宽度为1微米～10微米。含固化剂的光阻膜的厚度为4微米～6微米；其中，固化剂为自由基光引发剂和阳离子光引发剂；含固化剂的光阻膜为负型光阻。烘烤温度为133摄氏度～137摄氏度，烘烤时间为14分钟～16分钟。紫外激光的波长365纳米，紫外激光的功率为5KW，紫外激光的光束直径为1微米～10微米，紫外激光的光照速度为2米/秒。

有益效果：本发明公开了一种紫外激光固化布线方法，通过在加工触控面板的感应层工艺中使用了紫外激光镭射加工方式与固化剂结合增加线迹的牢固品质，从而成功地实现了加工后的产品表面没有蚀刻痕迹，其外观更加整洁美观，划线线条更加优化平滑，生产形式更加灵活，产品品质高，便于采用新的工艺标准化量产，并且提高触控面板的透光率。

附图说明：

图1是本发明的工艺流程示意框图。

具体实施方式

下面是本发明的具体实施例来进一步描述：

图1所示，本发明的一种紫外激光固化布线方法，包括：

在千级无尘室中，

光学级PET基层单面镀金属导电材料的步骤；

在光学级PET基层金属导电材料上贴含固化剂的光阻膜后，并且烘烤的步骤；

用紫外激光曝光含固化剂的光阻膜，10％的KOH溶液显影，3.5mol/L的盐酸蚀刻，3.5％的NaOH溶液脱膜，形成电极走线和金属串联感应单元组的步骤。

所述金属导电材料为铜、铜铌铬合金或者银钯铜合金构成；金属表面方阻值为0.1欧姆～0.3欧姆。光学级PET基层厚度为50微米～200微米；金属串联感应单元组和电极走线的厚度为金属串联感应单元组的线迹宽度为1微米～10微米。含固化剂的光阻膜的厚度为4微米～6微米；其中，固化剂为自由基光引发剂和阳离子光引发剂；含固化剂的光阻膜为负型光阻。烘烤温度为133摄氏度～137摄氏度，烘烤时间为14分钟～16分钟。紫外激光的波长365纳米，紫外激光的功率为5KW，紫外激光的光束直径为1微米～10微米，紫外激光的光照速度为2米/秒。

实施例1：

金属导电材料为铜构成；金属表面方阻值为0.1欧姆。光学级PET基层厚度为50微米；金属串联感应单元组和电极走线的厚度为金属串联感应单元组的线迹宽度为1微米。含固化剂的光阻膜的厚度为4微米；烘烤温度为133摄氏度，烘烤时间为16分钟。紫外激光的光束直径为1微米。

紫外激光固化布线方法，包括如下步骤：