[发明专利]正型感光性树脂组成物及其形成图案的方法有效

专利信息
申请号: 201110346718.2 申请日: 2011-11-07
公开(公告)号: CN102566273A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 陈凯民;施俊安 申请(专利权)人: 奇美实业股份有限公司
主分类号: G03F7/039 分类号: G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1368;H01L21/77
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 胡红芳
地址: 中国台湾台南市*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 感光性 树脂 组成 及其 形成 图案 方法
【权利要求书】:

1.一种正型感光性树脂组成物,其特征在于,包含如下组分:

酚醛清漆树脂(A);

含环氧丙烷基的环氧树脂(B);

邻萘醌二迭氮磺酸类酯化物(C);以及

溶剂(D);

其中,该酚醛清漆树脂(A)包含羟基型酚醛清漆树脂(A-1),该羟基型酚醛清漆树脂(A-1)由羟基苯甲醛类化合物与芳香族羟基化合物缩合而得,且基于酚醛清漆树脂(A)100重量份,该羟基型酚醛清漆树脂(A-1)的使用量为30~100重量份。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于,该羟基苯

甲醛类化合物是选自羟基苯甲醛化合物、二羟基苯甲醛化合物、三羟基苯甲醛化合物及羟基烷基苯甲醛化合物所组成的群组。

3.根据权利要求2所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于,该羟基苯甲醛化合物是选自邻-羟基苯甲醛、间-羟基苯甲醛及对-羟基苯甲醛所组成的群组。

4.根据权利要求2所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于,该二羟基苯甲醛化合物是选自2,3-二羟基苯甲醛、2,4-二羟基苯甲醛、2,5-二羟基苯甲醛、3,4-二羟基苯甲醛及3,5-二羟基苯甲醛所组成的群组。

5.根据权利要求2所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于,该三羟基苯甲醛化合物是选自2,3,4-三羟基苯甲醛、2,4,5-三羟基苯甲醛、2,4,6-三羟基苯甲醛、3,4,5-三羟基苯甲醛所组成的群组。

6.根据权利要求2所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于,该羟基烷基苯甲醛化合物是选自邻-羟甲基苯甲醛、间-羟甲基苯甲醛及对-羟甲基苯甲醛所组成的群组。

7.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组成物,其特征在于,基于酚醛清漆树脂(A)100重量份,含环氧丙烷基的环氧树脂(B)的使用量为5~40重量份,邻萘醌二迭氮磺酸类酯化物(C)的使用量为1~100重量份,溶剂(D)的使用量为500~2000重量份。

8.一种图案形成方法,其特征在于,将权利要求1~7中任一权利要求所述的正型感光性树脂组成物涂布于基板,再依序施予预烤、曝光、显影及后烤处理,据此于该基板形成图案。

9.一种薄膜电晶体阵列基板,包含权利要求8所述的图案。

10.一种液晶显示组件,包含权利要求9所述的薄膜电晶体阵列基板。

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