[发明专利]正型感光性树脂组成物及其形成图案的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。特别是提供一种使用在半导体集积回路组件及薄膜电晶体(以下简称TFT）的液晶显示组件制造中，耐裂缝性佳的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。

背景技术

在基板上形成如液晶显示组件回路或半导体积体回路等微细回路图案的绝缘膜或者导电性金属膜上，均匀地涂布光阻组成物，并于指定形状的光罩下进行曝光显影，可制得所需形状的图案。接着，将形成图案的光阻膜作为光罩除去金属膜或绝缘膜后，再除去残留的光阻膜，即可在基板上形成微细回路。根据光阻组成物在曝光部分或光阻膜部分的可溶或不溶性，光阻组成物可分为正型光阻和负型光阻两类。

日本特公平2-51499专利文献揭露一种正型感光性树脂组成物，该组成物包含一由间-甲酚、对-甲酚及二甲苯酚的混合物与醛类缩合而得的酚醛清漆树脂及一醌二迭氮化合物，于应用上具有高感度及高残膜率等优点，然而，根据近几年的需求，其所形成的图案有耐热性差的问题且已无法达到标准。

因此，相较于前述感光性树脂组成物，日本特开2007-304592专利文献揭露使用如下列结构式所表示的酚醛清漆树脂作为感光性树脂组成物，可于基板上形成耐热性佳的图案，然而，其所形成的图案却有耐裂缝性不佳的问题；

(式中，R表示H、-OH或-CH₃，n为3～20的整数) 。

发明内容

本发明主要目的在于提供一种正型感光性树脂组成物，特别是提供一种使用在半导体集积回路组件及薄膜电晶体(以下简称TFT）的液晶显示组件制造中，耐裂缝性佳的正型感光性树脂组成物。

本发明另一目的在于提供一种使用前述正型感光性树脂组成物形成图案的方法。

为满足前述目的，本发明涉及一种正型感光性树脂组成物，包含酚醛清漆树脂(A)、含环氧丙烷基(oxetanyl)的环氧树脂(B)、邻萘醌二迭氮磺酸类酯化物(C)以及溶剂(D)，其中，该酚醛清漆树脂(A)包含羟基型酚醛清漆树脂(A-1)，该羟基型酚醛清漆树脂(A-1)由羟基苯甲醛类化合物与芳香族羟基化合物缩合而得，且基于酚醛清漆树脂(A)100重量份，该羟基型酚醛清漆树脂(A-1)的使用量为30～100重量份。

如前所述正型感光性树脂组成物，其中，该羟基苯甲醛类化合物是选自羟基苯甲醛化合物、二羟基苯甲醛化合物、三羟基苯甲醛化合物及羟基烷基苯甲醛化合物所组成的群组。

如前所述正型感光性树脂组成物，其中，该羟基苯甲醛化合物是选自邻-羟基苯甲醛、间-羟基苯甲醛及对-羟基苯甲醛所组成的群组。

如前所述正型感光性树脂组成物，其中，该二羟基苯甲醛化合物是选自2,3-二羟基苯甲醛、2,4-二羟基苯甲醛、2,5-二羟基苯甲醛、3,4-二羟基苯甲醛及3,5-二羟基苯甲醛所组成的群组。

如前所述正型感光性树脂组成物，其中，该三羟基苯甲醛化合物是选自2,3,4-三羟基苯甲醛、2,4,5-三羟基苯甲醛、2,4,6-三羟基苯甲醛、3,4,5-三羟基苯甲醛所组成的群组。

如前所述正型感光性树脂组成物，其中，该羟基烷基苯甲醛化合物是选自包括邻-羟甲基苯甲醛、间-羟甲基苯甲醛及对-羟甲基苯甲醛所组成的群组。

如前所述正型感光性树脂组成物，其中，基于酚醛清漆树脂(A)100重量份，含环氧丙烷基的环氧树脂(B)的使用量为5～40重量份，邻萘醌二迭氮磺酸类酯化物(C)的使用量为1～100重量份，溶剂(D)的使用量为500～2000重量份。

本发明的一种图案形成方法，是将如前所述的正型感光性树脂组成物涂布于基板，再依序施予预烤、曝光、显影及后烤处理，据此于该基板形成图案。

本发明一种薄膜电晶体阵列基板，包含如前所述的图案。

本发明一种液晶显示组件，包含所述薄膜电晶体阵列基板。

本发明中，以(甲基)丙烯酸表示丙烯酸及/或甲基丙烯酸，同样地，以(甲基)丙烯酸酯表示丙烯酸酯及/或甲基丙烯酸酯；以(甲基)丙烯酰基表示丙烯酰基及/或甲基丙烯酰基；以(甲基)丙烯酰氧基表示丙烯酰氧基及/或甲基丙烯酰氧基。

以下逐一对本发明各组成做详细的说明。

＜正型感光性树脂组成物＞

[酚醛清漆树脂(A)]

本发明正型感光性树脂组成物酚醛清漆树脂(A)包含羟基型酚醛清漆树脂(A-1)，并可选择性地进一步包含其他酚醛清漆树脂(A-2)。