[发明专利]对位装置及对位方法

权利要求书

1.一种对位装置，其用于进行用来检查测量的基板的对位，其特征在于，

上述对位装置包括：

摄像部，其用于拍摄上述基板的图像；

存储部，其用于存储利用上述摄像部拍摄的高倍制程程序图像、以及利用上述摄像部拍摄的低倍制程程序图像，该高倍制程程序图像被设定了用于进行上述检查测量的测量部位，该低倍制程程序图像包含上述高倍制程程序图像的视场区域，并具有范围比该高倍制程程序图像大的视场区域；

检索部，其用于检索倍率与上述存储部所存储的上述高倍制程程序图像相等的、利用上述摄像部拍摄的用于进行上述检查测量的检查图像在上述低倍制程程序图像内的位置；

计算部，在上述检索部的检索的结果为上述测量部位偏离于上述检查图像的视场区域内的情况下，该计算部用于计算出包含该检查图像及上述测量部位的位置在内的位置信息；以及

控制部，其根据上述计算部所计算出的上述位置信息，移动了上述摄像部以使上述测量部位进入上述检查图像的视场区域内，之后使上述摄像部拍摄检查图像。

2.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，

上述检索部用于将上述检查图像的像素分辨率缩小成与上述低倍制程程序图像的像素分辨率相等而进行检索。

3.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，

上述低倍制程程序图像的视场区域的面积是上述高倍制程程序图像的视场区域的面积的2倍以上。

4.根据权利要求1所述的对位装置，其特征在于，

上述高倍制程程序图像的视场中心的位置与上述低倍制程程序图像的视场中心的位置对齐。

5.一种对位方法，其是由对位装置所进行的对位方法，该对位装置用于使基板图像的位置对准，该对位装置包括：摄像部，其用于拍摄用来检查测量的上述基板图像；以及存储部，其用于存储高倍制程程序图像和低倍制程程序图像，该高倍制程程序图像被设定了用于进行上述检查测量的测量部位，该低倍制程程序图像包含上述高倍制程程序图像的视场区域，并具有范围比该高倍制程程序图像大的视场区域；其特征在于，上述对位方法包括以下步骤：

检查图像拍摄步骤，拍摄用于进行检查测量的检查图像，该检查图像是用于进行测量的基板的图像，且是以与上述高倍制程程序图像相等的倍率拍摄的；

检索步骤，检索上述检查图像在上述低倍制程程序图像内的位置；

计算步骤，在上述检索步骤中检索的结果为上述测量部位偏离于上述检查图像的视场区域内的情况下，计算出包含该检查图像及上述测量部位的位置在内的位置信息；以及

移动拍摄步骤，根据在上述计算步骤中计算出的上述位置信息，移动了上述摄像部以使上述测量部位进入上述检查图像的视场区域内，之后使上述摄像部拍摄检查图像。