[发明专利]湿度调节系统

权利要求书

1.一种湿度调节系统，适用于一无尘室，该无尘室包括一机台工作区与一外围区，该外围区环绕该机台工作区，且该机台工作区具有一气体入口与一气体出口，并通过该气体入口与该气体出口连通至该外围区，而该湿度调节系统包括一高压喷雾装置，配置于该外围区而邻近该气体出口，适于提供一雾气，以对自该机台工作区流向该外围区的一气体进行降温及加湿。

2.如权利要求1所述的湿度调节系统，还包括一冷却装置，配置于该外围区而相对该高压喷雾装置邻近该气体出口，用以降温该气体。

3.如权利要求1所述的湿度调节系统，还包括一外气空调装置，适于提供一外气至该外围区，以使该外气通过该气体入口流入该机台工作区内。

4.如权利要求3所述的湿度调节系统，其中该外气空调装置配置于该无尘室外，并通过一气体通道连接至该外围区。

5.如权利要求3所述的湿度调节系统，其中该外气空调装置配置于该外围区内。

6.如权利要求3所述的湿度调节系统，其中该外气空调装置包括一温度调节单元，适于加热或冷却该外气。

7.如权利要求6所述的湿度调节系统，其中该外气空调装置还包括一加湿单元，适于提供一水气，以加湿该外气。

8.如权利要求1所述的湿度调节系统，还包括一第一温/湿度传感器，设置于该无尘室的该外围区而邻近该气体出口。

9.如权利要求1所述的湿度调节系统，还包括一第二温/湿度传感器，设置于该无尘室的该机台工作区内而邻近该气体入口。

10.如权利要求1所述的湿度调节系统，其中该高压喷雾装置的工作压力介于10Kg/cm²至100Kg/cm²。

11.如权利要求1所述的湿度调节系统，其中该雾气的粒径小于100微米。