[发明专利]湿度调节系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种湿度调节系统，尤其涉及一种适用于无尘室中的湿度调节系统。

背景技术

在高科技产业中，由于对产品的精密程度要求极高，因此必须在无尘、无污染且恒温恒湿的无尘室环境中进行产品制造及加工等作业，以确保产品的品质。

图1为公知一种无尘室的温湿度调节系统的配置示意图。请参照图1，公知的无尘室100是利用外气空调装置102来控制进入无尘室100内的气体的温度及湿度。详细来说，外气空调装置102具有入气口101以及出气口103，并包括第一过滤单元110、温度调节单元120、加湿单元130、温度调节单元140、送风单元150以及第二过滤单元160。当外界气体由入气口101进入外气空调装置102内后，会先经由第一过滤单元110初步过滤杂质，并通过温度调节单元120将通过过滤单元110的气体预冷却或预加热，再利用加湿单元130所喷洒出的水气提高气体的湿度。由于在加湿过程中气体的温度会大幅降低，因此在进行加湿后需再通过温度调节单元140对气体进行加热，以使气体达到目标温度，然后再通过送风单元150将此气体g往出气口103送，使气体g在通过第二过滤单元160后，可经由出气口103输送至无尘室100内。

由上述可知，公知需利用外气空调装置102对欲输送无尘室内的气体进行二次加热，以使气体达预定的温度及湿度。然而，此种做法的耗能需求量大，不但增加工艺成本，也难以符合现今节能环保的趋势。

发明内容

有鉴于此，为了克服现有技术的缺陷，本发明提供一种湿度调节系统，以节省维护无尘室的耗能费用。

本发明提出一种湿度调节系统，适用于无尘室中，此无尘室包括机台工作区与外围区，其中外围区环绕机台工作区，而机台工作区具有气体入口与气体出口，并通过气体入口与气体出口连通至外围区。此湿度调节系统包括高压喷雾装置，配置于无尘室的外围区而邻近气体出口，用以提供雾气，以对自机台工作区流向外围区的气体进行降温及加湿。

在本发明的一实施例中，上述的湿度调节系统还包括冷却装置，配置于该外围区而相对该高压喷雾装置邻近该气体出口，用以降温自机台工作区流向外围区的气体。

在本发明的一实施例中，上述的湿度调节系统还包括外气空调装置，用以提供外气至外围区，以使外气通过气体入口流入机台工作区内。

在本发明的一实施例中，上述的外气空调装置配置于无尘室外，并通过气体通道连接至外围区。

在本发明的一实施例中，上述的外气空调装置配置于外围区内。

在本发明的一实施例中，上述的外气空调装置包括温度调节单元，用以加热或冷却外气。

在本发明的一实施例中，上述的外气空调装置还包括加湿单元，适于提供水气。

在本发明的一实施例中，上述的湿度调节系统还包括第一温/湿度传感器，设置于无尘室的外围区而邻近气体出口。

在本发明的一实施例中，上述的湿度调节系统还包括第二温/湿度传感器，设置于无尘室的机台工作区内而邻近气体入口。

在本发明的一实施例中，上述的高压喷雾装置的工作压力介于10Kg/cm²至100Kg/cm²。

在本发明的一实施例中，上述的雾气的粒径小于100微米。

本发明是在无尘室的外围区内设置高压喷雾装置，以对机台在工艺中所产生的高温气体进行等焓加湿，因而无须耗费额外的能量来对气体进行加湿前的加热。

本发明可有效降低无尘室的运转成本，符合现今节能环保的趋势。

为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。

附图说明

图1为公知一种无尘室的温湿度调节系统的配置示意图；

图2是本发明一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图；

图3是本发明另一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图；

图4是本发明另一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图。

其中，附图标记说明如下：

100、300：无尘室；

101：入气口；

102、250：外气空调装置；

103：出气口；

110：第一过滤单元；

120、140、252：温度调节单元；

130、254：加湿单元；

150、256：送风单元；

160：第二过滤单元；

200、400：湿度调节系统；