[发明专利]图案形成方法及图案形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及通过从相对于基板表面移动的嘴体对基板表面涂敷含有光固性材料的涂敷液并对该涂敷液进行光照射从而在基板上形成图案的图案形成技术。

背景技术

作为在基板表面形成规定的图案的技术，有以下技术：与图案形状相配合地涂敷含有光固性材料的涂敷液，并对涂敷液照射光(例如紫外线(UV光))来使涂敷液固化。例如，在本案申请人之前所公开的日本特开2010-278225号公报记载的技术中，为了在光电转换器件(具体而言为太阳能电池)的表面形成布线图案而利用该技术。更详细而言，在该技术中，从相对于基板移动的嘴体将含有光固性树脂的涂敷液涂敷在基板表面上，并且对涂敷液照射UV光来使之固化，从而形成用于流入布线材料的隔壁。而且，通过向由这样形成的隔壁所夹着的沟部中流入液体状的布线材料，来在基板表面形成高纵横比(aspect)的布线图案。

但是，在通过涂敷涂敷液及对涂敷液进行光照射来形成图案的技术中，还有如下的问题。即，为了在维持涂敷于基板的涂敷液的形状不变的状态下使涂敷液固化，对从嘴体刚刚喷出之后的液体进行光照射是有效的。但是，若对紧挨着嘴体的位置照射光，则在嘴体的喷出口周边，涂敷液被光照射而变硬凝固，这可能会使喷出口堵塞。若为了避免此情况而从远离嘴体的位置进行光照射，则喷出后的涂敷液在光固化前向周围蔓延，而不能得到所期望的截面形状。尤其是当使用了粘度比较低的涂敷液时，该问题较显著。

另外，若向涂敷液射出光的光射出部与嘴体之间的距离远，则在涂敷末端位置结束从嘴体喷出涂敷液的时刻，涂敷液的末端部未充分地照射光，固化不充分从而图案形状往往会走样。

这样，在现有的图案形成技术中，难以同时防止涂敷液在嘴体周边处凝固和使涂敷后的涂敷液可靠地固化。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而做出的，其目的在于，对于通过在基板表面涂敷含有光固性材料的涂敷液并进行光照射从而在基板上形成图案的图案形成技术，提供能够防止涂敷液在嘴体周边处凝固而且能够可靠地对涂敷后的涂敷液照射光来使之固化的技术。

为了实现上述目的，本发明所涉及的图案形成方法的特征在于，包括：第一工序，一边使嘴体沿着基板的表面向规定的扫描移动方向相对移动，一边从所述嘴体的喷出口连续地喷出含有光固性材料的涂敷液，第二工序，使光射出单元以追随所述嘴体的方式沿着所述基板的表面向所述扫描移动方向相对移动，并对涂敷于所述基板的所述涂敷液进行光照射，从而使所述光固性材料光固化。并且，当所述嘴体相对于所述基板的相对位置到达规定的涂敷结束位置时，从所述喷出口停止喷出所述涂敷液，并且使所述嘴体向与所述基板的表面相分离的方向相对于所述基板的表面相对移动；在所述嘴体与所述基板的表面相分离后，使所述光射出单元相对于所述基板向所述扫描移动方向相对移动来进行光照射，直到照射到因所述喷出口停止喷出而终断的所述涂敷液的末端部为止。

在这样构成的发明中，喷出涂敷液的嘴体在涂敷结束位置结束喷出并且与基板表面相对性地分离，从而使涂敷于基板表面的涂敷液与嘴体可靠地分离。然后，通过使光射出单元进一步向扫描移动方向相对移动，由此即使在停止喷出的时刻，基板上的涂敷液存在光未照射到的未照射部分，也能够使光照射到该部分从而使该部分固化。此时，由于嘴体退避到与基板表面相分离的位置，因此能够防止在嘴体的喷出口的周围光照射到涂敷液而使其固化的现象。

这样，根据本发明，通过防止涂敷液在嘴体周边处凝固，并且可靠地对涂敷后的涂敷液照射光来使之固化，从而能够以所期望的形状形成图案。另外，由于在嘴体退避后使光射出单元扫描移动从而能够对基板上的涂敷液进行光照射，因此无需勉强地将嘴体和光射出单元接近配置，根据该点也能够有效地防止涂敷液在嘴体周边处凝固。

在该图案形成方法中，例如可以是，在嘴体到达涂敷结束位置时，嘴体停止相对于基板向扫描移动方向相对移动，并停止从喷出口喷出涂敷液，然后嘴体与基板表面相分离。如果这样，在嘴体移动停止了的状态下停止从喷出口喷出涂敷液，之后进行嘴体的离开动作，因此能够防止在喷出口周边残存的涂敷液垂落在基板上或产生涂敷液的末端部被嘴体细细地拉长而形成的拖丝，从而能够抑制图案形状的不规则。

另外，例如更优选，在从开始对涂敷液进行光照射起到结束对涂敷液的末端部的光照射为止的期间，光射出单元和基板表面之间的间隔维持恒定。通过这样，对涂敷液进行光照射的条件均匀，使图案的固化程度恒定，并且能够恰当地控制其形状。