[发明专利]支撑装置及采用该支撑装置的真空镀膜机

权利要求书

1.一种支撑装置，其用于支撑工件，该支撑装置包括基板，该基板上开设有收容孔，其特征在于：该支撑装置还包括装设件，以及多个调整件，该装设件装设于该收容孔中，该多个调整件装设于装设件上并抵持于基板上且能够调整该装设件相对该基板的高度与倾角。

2.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于：该装设件包括一个收容部并对应于收容部两侧弯折形成有侧壁，且沿两个相对的侧壁垂直向外延伸有延伸部，该收容部收容于该收容孔中，该延伸部设置于该基板上。

3.如权利要求2所述的支撑装置，其特征在于：该收容部上开设有溅射孔并对应于该溅射孔周缘形成有一圈支承条用以支承工件，该基板对应收容孔相对的两侧边缘形成有抵持部，该延伸部设置于该抵持部上。

4.如权利要求3所述的支撑装置，其特征在于：该侧壁垂直设置于两个相对的支承条上，该收容孔的侧壁形成有限位面，两个侧壁外侧面的距离小于该收容孔相对的两个限位面之间的距离。

5.如权利要求3所述的支撑装置，其特征在于：该延伸部邻近其两端开设有调整孔，该调整件包括头部以及与头部同轴相接的调整部，该调整部与该调整孔螺纹配合，该调整部的端部抵持于该抵持部上。

6.如权利要求3所述的支撑装置，其特征在于：该延伸部邻近其两端开设有调整孔，该调整件包括头部以及与头部同轴相接的调整部，该调整部上开设有相对的收容凹槽，该调整件还包括弹性装设于该收容凹槽内的定位珠，该装设件于该调整孔侧壁上开设有多对高度不同的定位凹槽，按压该调整件的头部使该定位珠与该调整孔内不同高度的定位凹槽相配合能够改变调整该装设件的高度与倾角。

7.如权利要求3所述的支撑装置，其特征在于：该延伸部邻近其两端开设有调整孔，该调整件包括头部以及一端固定于该头部上的两个支撑弹片，该两个支撑弹片相对设置且向外伸张，该两个支撑弹片抵持于该调整孔的侧壁上，拉持该装设件相对该支撑弹片移动，能够将该装设件定位于该支撑弹片的不同高度位置处。

8.一种真空镀膜机，其包括蒸发源、转动设置于该蒸发源上方的支撑装置，以及挡设于该蒸发源与该支撑装置之间的挡设件，该支撑装置包括可旋转的基板，该基板包括一个朝向蒸发源的半球形的接收面且于该接收面上沿径向方向开设有多圈收容孔，其特征在于：该支撑装置还包括多个装设件以及多个调整件，该装设件装设于该收容孔中，该多个调整件装设于装设件上并抵持于基板上且能够调整该装设件相对该基板的高度与倾角。

9.如权利要求8所述的真空镀膜机，其特征在于：该装设件包括一个收容部并对应于该收容部两侧弯折形成有侧壁，且沿两个相对的侧壁垂直向外延伸有延伸部，该收容部收容于该收容孔中，该延伸部设置于该基板上。

10.如权利要求9所述的真空镀膜机，其特征在于：该延伸部邻近其两端开设有调整孔，该调整件包括头部以及与头部同轴相接的调整部，该基板对应该收容孔相对的两侧边缘形成有抵持部，该调整部与该调整孔相配合，且该调整部的端部抵持于该抵持部上。