[发明专利]支撑装置及采用该支撑装置的真空镀膜机

说明书

技术领域

本发明涉及一种能够调节工件高度与倾角的支撑装置及采用该支撑装置的真空镀膜机。

背景技术

工业中常采用真空镀膜机对工件进行镀膜。真空镀膜机包括蒸发源、支撑装置与挡设件。支撑装置包括穹形板体且该板体沿其径向开设有多圈收容孔，每圈收容孔均匀间隔设置。每个工件对应放置于一个收容孔中，挡设件设置于蒸发源与工件之间。当支撑装置带动工件旋转时，蒸发源将靶材原子溅射至工件上以形成镀膜层，而挡设件可对开设于支撑装置上的各圈收容孔进行不同程度的挡设，以使支撑装置上的多圈工件的膜厚一致。但是，支撑装置上开设收容孔时，易导致每个收容孔之间的隔挡处发生翘曲变形，使得处于同一半径上的一圈工件的高度及倾斜角度不一致，进而导致工件上形成的膜厚不一致，影响了镀膜的均匀性。

发明内容

鉴于上述内容，有必要提供一种能够调整工件高度与倾角的支撑装置及采用该支撑装置的真空镀膜机。

一种支撑装置，其用于支撑工件，该支撑装置包括基板，该基板上开设有收容孔，该支撑装置还包括装设件，以及多个调整件，该装设件装设于该收容孔中，该多个调整件装设于该装设件上并抵持于该基板上且能够调整该装设件相对该基板的高度与倾角。

一种真空镀膜机，其包括蒸发源、转动设置于该蒸发源上方的支撑装置以及挡设于该蒸发源与该支撑装置之间的挡设件，该支撑装置包括可旋转的基板，该基板包括一个朝向蒸发源的半球形的接收面且于该接收面上沿径向方向开设有多圈收容孔，该支撑装置还包括多个装设件以及多个调整件，该装设件装设于该收容孔中，该多个调整件装设于装设件上并抵持于基板上且能够调整该装设件相对该基板的高度与倾角。

由于该支撑装置采用了调整件，通过该多个调整件可调整该装设件相对于基板的高度与倾角，进而提高该真空镀膜机对工件镀膜的均匀性。

附图说明

图1为本发明实施例一的真空镀膜机的断面示意图。

图2为图1所示支撑装置的局部剖面示意图。

图3为图1所示真空镀膜机的装设件及调整件的俯视图。

图4为本发明实施例二的支撑装置的局部剖面示意图。

图5为本发明实施例三的支撑装置的局部剖面示意图。

主要元件符号说明

真空镀膜机100蒸发源10支撑装置20挡设件30基板21接收面211收容孔213限位面2131抵持部215装设件23、43、53收容部231溅射孔2311支承条2313侧壁233延伸部235调整孔2351、431、531调整件25、41、51头部251、411、511调整部253、413收容凹槽4131定位珠415定位凹槽4311支撑弹片513