[发明专利]气相外延装置

权利要求书

1.一种气相外延装置，包括：

底板、上盖板、位于底板和上盖板之间的侧壁和位于底板上的基板，所述底板、上盖板、侧壁和基板构成反应腔室，其特征在于，还包括：

位于侧壁下端等夹角分布的至少4个的排气口，用于排出反应腔室内的气体；位于上盖板上与基板相对设置的加热装置，所述加热装置上分布有若干加热灯管。

2.如权利要求1所述的气相外延装置，其特征在于，所述加热装置上还包括与所述加热灯管间隔分布的进气口，用于向反应腔室通入源气体。

3.如权利要求2所述的气相外延装置，其特征在于，所述加热灯管在加热装置的上呈若干平行的第一直线分布，每条第一直线上加热灯管间的间距相等，相邻第一直线间的间距相等。

4.如权利要求3所述的气相外延装置，其特征在于，所述进气口分布在相邻两条第一直线之间，呈若干与第一直线平行的第二直线，每条第二直线上进气口间的间距相等，相邻第二直线间的间距相等。

5.如权利要求3所述的气相外延装置，其特征在于，所述进气口分布在第一直线上的加热灯管之间，呈与第一直线重合的第三直线，每条第三直线上进气口间的间距相等，相邻第三直线间的间距相等。

6.如权利要求2所述的气相外延装置，其特征在于，所述加热灯管在加热装置上呈若干第一同心圆分布，每个第一同心圆上加热灯管间的间距相等，第一同心圆间的间距相等，所述第一同心圆的圆心为加热装置的中心。

7.如权利要求6所述的气相外延装置，其特征在于，所述进气口分布在相邻两个第一同心圆之间，呈若干与第一同心圆同心的第二同心圆，每个第二同心圆上进气口间的间距相等，相邻第二同心圆间的间距相等。

8.如权利要求6所述的气相外延装置，其特征在于，所述进气口分布在第一同心圆上的加热灯管之间，呈与第一同心圆重合的第三同心圆，每个第三同心圆上进气口间的间距相等，相邻第三同心圆间的间距相等。

9.如权利要求2所述的气相外延装置，其特征在于，进气口的长度大于加热灯管的长度，进气口的顶端与加热灯管顶端的距离范围为5厘米～20厘米。

10.如权利要求2所述的气相外延装置，其特征在于，所述进气口和加热灯管之间设置有隔离板，防止反应腔室内的源气体在反应时沾污加热灯管，所述进气口贯穿隔离板。

11.如权利要求2所述的气相外延装置，其特征在于，所述隔离板的材料为石英、碳化硅或者陶瓷。

12.如权利要求1所述的气相外延装置，其特征在于，所述加热装置为直径大于待处理衬底直径的圆盘体。

13.如权利要求1所述的气相外延装置，其特征在于，还包括位于所述侧壁上等夹角分布的至少4个进气口，所述进气口位于基板的上方。

14.如权利要求13所述的气相外延装置，其特征在于，所述进气口与垂直于侧壁的法线的夹角范围为0度～60度。