[发明专利]CMOS半导体器件及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种互补金属氧化物半导体(Complementary Metal OxideSemiconductor，简称CMOS)半导体器件及其制造方法。

背景技术

随着器件尺寸越来越小(沟道长度已经缩短到数十nm)，相应地就使得晶体管阈值电压对半导体表面态(界面态)的敏感性变小了，同时在工艺上对阈值电压的控制水平也提高了。于是，为了进一步提高器件的频率、速度等性能，如何增大迁移率的问题就上升成为了一个需要注意的重要问题。

在传统的CMOS工艺中，(100)/<110>型织构的衬底为主流的衬底，但该衬底在保证电子的迁移率的同时，并不是对于空穴的最优衬底，因此，在衬底片晶向的选取上也相应地应该有所改变。由于在(100)晶面的Si片上，电子的迁移率较高，这有利于制作n-MOSFET，但是空穴的迁移率却较低(比电子的要低2.5倍～3倍)，这不利于制作p-MOSFET。因此对于CMOS器件和电路而言，单只采用(100)晶面的衬底片是不太好的。而采用(110)晶面的衬底可以得到更高的空穴迁移率。

为了克服此弊病，现在已经开始研制在同一块衬底片上具有两种晶面((100)晶面和(110)晶面)的片子，以便分别在(100)晶面和(110)晶面上制作n-MOSFET和p-MOSFET，使得CMOS器件和电路的性能得以大大提高。这种采用具有几种晶向的衬底片来制作器件和集成电路的技术称为混合晶向衬底技术(HOT)。HOT技术对于CMOS大规模集成电路的发展具有重要的意义。

目前业界主流的HOT技术，基本上是以(110)/<110>型织构为衬底，在其上集成(100)晶面，形成绝缘衬底上的硅(Silicon-On-Insulator，简称SOI)或者bulk(体衬底)的金属-氧化物-半导体(N-Mental-Oxide-Semiconductor，简称NMOS)。在其上应用eGeSi(嵌入式锗硅应变技术)时，势必有(110)晶面的出现。

对于(110)晶面，由于(110)晶面上GeSi外延的成核速度大，导致其上生长的GeSi薄膜粗糙度变大，由此带来的晶格适配造成了应力的损失，从而使eGeSi对于P沟道耗尽型场效应晶体管(positive channel Metal OxideSemiconductor，简称PMOS)的改善效果有所降低。这在Intel公司的eGeSi发展历史上也得到了印证，其沟槽形貌从第一代的矩形发展为避免(110)晶面出现的sigma形状。

现有技术中有实验证明，(110)/<110>衬底和(110)/<111>衬底在应力条件下，其空穴迁移率的表面差别不大，在高应力条件下，后者反而更好一些。

因此，如何避免(110)晶面在eGeSi沟道中出现，以及避免Sigma形状沟道的出现，实为目前业界需要解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种避免将eGeSi技术应用在(110)晶面上而引起晶格适配并带来应力损失的CMOS半导体器件及其制造方法。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种CMOS半导体器件，包括：NMOS晶体管，其衬底具有(100)/<110>织构；PMOS晶体管，其衬底外延生长在该NMOS晶体管衬底上，具有(110)/<111>织构；反应离子刻蚀工艺形成的沟槽，形成于该PMOS晶体管衬底上，其深度与该PMOS衬底厚度相等；GeSi外延层，生长在该沟槽中，其厚度至少可填满该沟槽深度。

作为本发明上述CMOS半导体器件的一种优选方案：该沟槽截面形状为矩形。

本发明还公开了一种制造CMOS半导体器件的方法，包括如下步骤：以(100)/<110>织构作为NMOS晶体管的衬底，在该衬底上生长(110)/<111>织构作为PMOS晶体管的衬底；以反应离子刻蚀工艺形成沟槽，该沟槽深度与该PMOS衬底厚度相等；以选择性外延工艺在该沟槽中生长GeSi外延层，该外延层厚度应至少可填满该沟槽深度。

本发明中的CMOS半导体器件，由于避免了将eGeSi技术应用在(110)晶面上，从而在保证良好空穴迁移率的同时避免了eGeSi技术在该晶面上成核速度过快而导致应力损失的情况，并简化了eGeSi技术的难度。

附图说明

图1为CMOS半导体器件的原始衬底结构示意图；

图2为生长了PMOS晶体管衬底后的衬底结构示意图；