[发明专利]像素结构及其制造方法无效
申请号: | 201110396188.2 | 申请日: | 2011-11-29 |
公开(公告)号: | CN102520556A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 魏全生;黄朝祥;蔡五柳;林志宏;陈茂松 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1368;H01L21/77 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;祁建国 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 像素 结构 及其 制造 方法 | ||
1.一种像素结构,包括:
一第一电极,位于一基板上;
一第一绝缘层,覆盖该第一电极;
一栅极,位于该第一绝缘层上;
一第二电极,位于该第一电极的上方的该第一绝缘层上;
一第二绝缘层,覆盖该栅极以及该第二电极;
一半导体层,位于该栅极上方的该第二绝缘层上;
一源极以及一漏极,位于该半导体层上,其中该栅极、该半导体层、该源极以及该漏极构成一薄膜晶体管;
一第三电极,位于该第二电极的上方的该第二绝缘层上,其中该第三电极与该第一电极电性连接,且该第一电极、该第二电极以及该第三电极构成一电容器;
一第三绝缘层,覆盖该源极、该漏极以及该第三电极;以及
一像素电极,位于该第三绝缘层上且与该漏极电性连接。
2.如权利要求1所述的像素结构,其特征在于,更包括一遮光部,其对应设置于该栅极的下方,且该遮光部被该第一绝缘层覆盖。
3.如权利要求2所述的像素结构,其特征在于,该遮光部从该第一电极延伸至该栅极的下方。
4.如权利要求2所述的像素结构,其特征在于,该遮光部遮蔽该栅极的其中一侧边且未延伸至该数据线的下方。
5.如权利要求2所述的像素结构,其特征在于,该遮光部遮蔽该栅极的两侧边且延伸至该数据线的下方。
6.如权利要求1所述的像素结构,其特征在于,该漏极与该第三电极连接在一起。
7.如权利要求6所述的像素结构,其特征在于,该第三绝缘层中具有一接触窗开口,该像素电极通过该接触窗与该第三电极以及该漏极电性连接。
8.如权利要求1所述的像素结构,其特征在于,该第一绝缘层以及该第二绝缘层中具有一接触窗开口,且该第三电极通过该接触窗开口与该第一电极电性连接。
9.如权利要求7所述的像素结构,其特征在于,该接触窗位开口于该栅极以及该第二电极之间。
10.一种像素结构的制造方法,包括:
在一基板上形成一第一导电层,该第一导电层包括一第一电极;
在该第一导电层上形成一第一绝缘层;
于该第一绝缘层上形成一第二导电层,该第二导电层包括一栅极以及一第二电极,且该第二电极位于该第一电极的上方;
在该第二导电层上形成一第二绝缘层;
于该栅极上方的该第二绝缘层上形成一半导体层;
于该第二绝缘层上形成一第三导电层,该第三导电层包括一源极、一漏极以及一第三电极,该源极与该漏极位于该半导体层上,该第三电极位于该第二电极的上方且与该第一电极电性连接,其中该栅极、该半导体层、该源极以及该漏极构成一薄膜晶体管,且该第一电极、该第二电极以及该第三电极构成一电容器;
于该第三导电层上形成一第三绝缘层;以及
于该第三绝缘层上形成一像素电极,其中该像素电极与该漏极电性连接。
11.如权利要求10所述的像素结构的制造方法,其特征在于,该第一导电层更包括一遮光部,其对应设置于该栅极的下方。
12.如权利要求11所述的像素结构的制造方法,其特征在于,该遮光部从该第一电极延伸至该栅极的下方。
13.如权利要求11所述的像素结构的制造方法,其特征在于,该遮光部遮蔽该栅极的其中一侧边且未延伸至该数据线的下方。
14.如权利要求11所述的像素结构的制造方法,其特征在于,该遮光部遮蔽该栅极的两侧边且延伸至该数据线的下方。
15.如权利要求10所述的像素结构的制造方法,其特征在于,该漏极与该第三电极连接在一起。
16.如权利要求15所述的像素结构的制造方法,其特征在于,在形成该第三绝缘层之后,更包括在该第三绝缘层中形成一接触窗开口,以暴露出该第三电极,且该像素电极通过该接触窗开口与该第三电极电性连接。
17.如权利要求10所述的像素结构的制造方法,其特征在于,于形成该第二绝缘层之后,更包括在该第一绝缘层以及该第二绝缘层中形成一接触窗开口,以暴露出该第一电极,且该第三电极通过该接触窗开口与该第一电极电性连接。
18.如权利要求17所述的像素结构的制造方法,其特征在于,该接触窗开口位于该栅极以及该第二电极之间。
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