[发明专利]蒸镀设备以及蒸镀方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种蒸镀设备以及蒸镀方法。

背景技术

资讯通讯产业已成为现今的主流产业，特别是可携带式的各种通讯显示产品更是发展的重点。而由于平面显示器是人与资讯之间的沟通界面，因此其发展显得特别重要。有机电致发光显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)以其自发光、广视角、省电、程序简易、低成本、操作温度广泛、高应答速度以及全彩化等等的优点，使其具有极大的潜力，因此可望成为下一代平面显示器的主流。

随着有机电致发光显示器的大型化的发展，其所面临的瓶颈为有机电致发光显示器蒸镀程序中所需的遮罩的尺寸也会跟着变大。而当遮罩的尺寸越大时，因地心引力的作用会使得遮罩产生些微的弯曲。为了防止遮罩弯曲，一般会在蒸镀设备中产用磁性板使遮罩紧紧地贴合在基板上。然而，因磁性板本身不透光，为了使光学对位设备可以检测位于磁性板下方的基板与遮罩之间的对位关系，通常需要对磁性板作开孔设计，以提供光学对位设备的光线可以通过开孔而对基板与遮罩进行对位检测。

但是，传统于磁性板设计开孔会衍生其他的缺点，包括在开孔附近的磁力均匀度不佳，而容易导致对应开孔处的基板与遮罩有未紧密贴合的情况。如此一来，将可能导致该处的蒸镀图案不够精确。

发明内容

本发明提供一种蒸镀设备以及蒸镀方法，其不需要在磁性板上形成开孔即可以使基板与遮罩之间精确对位。

本发明提出一种蒸镀设备，用于处理基板，所述基板具有基板对位标记，所述蒸镀设备包括遮罩、蒸镀源、磁性板以及至少一对位检测装置。遮罩位于基板的下方，遮罩具有多个侧边，且任两个相邻的侧边之间具有转角区域，遮罩的其中一转角区域中具有遮罩对位标记，且遮罩对位标记对应基板对位标记设置，且该遮罩对位标记具有第一部份以及第二部分。蒸镀源位于遮罩的下方。磁性板位于基板的上方。对位检测装置对应基板对位标记与遮罩对位标记设置，且对位检测装置的检测方向与基板的表面之间具有锐角夹角θ，所述对位检测装置藉由基板对位标记与遮罩对位标记的第一部份之间的对位以及基板对位标记与遮罩对位标记的第二部份的对位，以确定基板与遮罩彼此对准。

本发明提出一种蒸镀方法，其包括提供如上所述的蒸镀设备。利用对位检测装置对基板与遮罩进行对位步骤，其中对位步骤包括利用对位检测装置以侦测基板对位标记与遮罩对位标记的第一部份之间的对位以及基板对位标记与遮罩对位标记的第二部份的对位。将遮罩与基板贴合，并利用磁性板的磁性作用以确保遮罩与基板贴合。利用蒸镀源进行蒸镀程序，以于基板上形成图案。

基于上述，本发明的对位检测装置的检测方向与基板的表面之间具有锐角夹角θ，且所述对位检测装置藉由基板对位标记与遮罩对位标记的第一部份之间的对位以及基板对位标记与遮罩对位标记的第二部份的对位即可确定基板与遮罩彼此对准。由于本发明不需要在磁性板上制作开孔，因此可以解决传统磁性板因有开孔而容易导致磁力分布不均匀的问题。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1至图2是根据本发明一实施例的蒸镀方法的示意图；

图3是图1的蒸镀设备的局部示意图；

图4是图3的侧视示意图；

图5是是根据本发明一实施例的遮罩的示意图；

图6是根据本发明另一实施例的蒸镀设备的局部示意图。

其中，附图标记

100：基板

102：遮罩

102a～102d：侧边

103a、103b：转角处

104：遮罩支撑结构

110：压着板

120：蒸镀源

120a，120b：方向

130：磁性板

132：磁性板支撑结构

140：对位检测装置

150：移动装置

1002、1004：基板对位标记

1020、1022：遮罩对位标记

1020a、1022a：第一部份

1020b、1022b：第二部份

1020c、1020c：邻接处

D1、D2：检测方向

θ：锐角夹角

H1、H2：距离

L、L1、L2、L3、L4：距离

具体实施方式