[发明专利]晶舟、晶舟转移装置以及包括其的晶片转移系统

权利要求书

1.一种晶舟，所述晶舟包括用于装载晶片的本体，其特征在于，还包括固定在所述本体的外表面上的相互基本平行设置的撬撑杆和撑挡杆，所述撬撑杆和所述撑挡杆之间设置间隙以使用于转移该晶舟的晶舟转移装置的撬钩方便地作用于所述撬撑杆和撑挡杆；

其中，所述撬钩的背面作用于所述撑挡杆上并以该撑挡杆作为支撑点，所述撬钩的沟槽面抱紧作用于所述撬撑杆上以防止所述晶舟在传输时滑落。

2.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，还包括设置在所述本体的底部上的弧片状的加强筋，所述加强筋在其边沿处通过所述撬撑杆固定于所述本体的底部上，所述撬撑杆被大致设置在所述加强筋与所述本体之间。

3.如权利要求2所述的晶舟，其特征在于，所述撑挡杆设置在所述加强筋的外表面上。

4.如权利要求2所述的晶舟，其特征在于，在所述加强筋与所述本体之间还设置有固定杆。

5.如权利要求2或4所述的晶舟，其特征在于，在所述加强筋的底部外表面上，还设置有用于支撑所述晶舟的支撑杆。

6.如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述撬撑杆为圆柱状，所述撬钩的沟槽面为圆弧状，所述撬撑杆的圆柱面大致与所述撬钩的沟槽面相啮合。

7.如权利要求1或6所述的晶舟，其特征在于，所述撑挡杆为圆柱状，所述撬钩的背面大致为圆弧状，所述撑挡杆的圆柱面与所述撬钩的背面至少局部相啮合。

8.如权利要求2所述的晶舟，其特征在于，在所述加强筋的外表面上还设置有定位杆

如权利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述晶舟为装载10-50片晶片的短舟。

9.一种晶舟转移装置，其特征在于，所述晶舟转移装置大致为撬杆状并在其端部设置撬钩；

其中，所述撬钩的背面作用于晶舟的撑挡杆上并以该撑挡杆作为支撑点，所述撬钩的沟槽面抱紧作用于所述晶舟的撬撑杆上以防止所述晶舟在传输时滑落。

10.如权利要求10所述的晶舟转移装置，其特征在于，所述晶舟还包括手柄以及所述手柄与所述撬钩之间的过渡连接件。

11.如权利要求11所述的晶舟转移装置，其特征在于，所述过渡连接件上设置有用于固定所述撬钩的第一螺纹孔以及用于固定所述手柄的第二螺纹孔。

12.如权利要求10所述的晶舟转移装置，其特征在于，所述撬撑杆为圆柱状，所述撬钩的沟槽面为圆弧状，所述撬撑杆的圆柱面大致与所述撬钩的沟槽面相啮合。

13.如权利要求10或13所述的晶舟转移装置，其特征在于，所述撑挡杆为圆柱状，所述撬钩的背面大致为圆弧状，所述撑挡杆的圆柱面与所述撬钩的背面至少局部地相啮合。

14.一种晶片转移系统，包括晶片传输装置、晶舟和用于转移该晶舟的晶舟转移装置，其特征在于，

所述晶片传输装置用于将晶片装载至所述晶舟中；

所述晶舟包括：

用于装载晶片的本体，以及

固定在所述本体的外表面上的相互基本平行设置的撬撑杆和撑挡杆；

所述晶舟转移装置大致为撬杆状并在其端部设置撬钩；

其中，所述撬撑杆和所述撑挡杆之间设置间距以使所述晶舟转移装置的撬钩方便地作用于所述撬撑杆和撑挡杆上；所述撬钩的背面作用于所述撑挡杆上并以该撑挡杆作为支撑点，所述撬钩的沟槽面抱紧作用于所述撬撑杆上以防止所述晶舟在传输时滑落。