[发明专利]平坦水平检查设备及使用所述设备来检查平坦水平的方法

权利要求书

1.一种平坦水平检查设备，其包括：

夹盘，其经配置以支撑并固定待检查对象；

测量单元，其包括喷嘴，所述喷嘴经配置以将流体喷射到所述待检查对象的表面上，所述测量单元经配置以检测从所述喷嘴喷射的所述流体的喷射压力视所述喷嘴与所述待检查对象之间间隔的距离而定的变化，从而将所述检测到的喷射压力值转换为电压值；

提升模块，其经配置以提升所述喷嘴；

移动单元，其经配置以水平移动所述夹盘和所述喷嘴中的至少一者，所述移动单元经配置以水平且相对地移动所述夹盘和所述喷嘴；以及

计算单元，其经配置以使用由所述测量单元测得且视所述喷嘴与所述待检查对象的所述表面的特定点之间间隔的距离的变化而定的电压值，将在扫描所述待检查对象的所述表面的同时测得的实际测得的电压值计算为所述待检查对象的表面高度值，且将所述待检查对象的所述所计算的表面高度值彼此相对比较，从而确定平坦水平。

2.根据权利要求1所述的平坦水平检查设备，其特征在于所述测量单元包括空气测微计。

3.根据权利要求1所述的平坦水平检查设备，其特征在于所述移动单元包括：

夹盘驱动模块，其经配置以旋转或水平移动所述夹盘；以及

水平移动模块，其经配置以水平移动所述测量单元的所述喷嘴。

4.根据权利要求1所述的平坦水平检查设备，其特征在于提供多个所述喷嘴。

5.根据权利要求1所述的平坦水平检查设备，其特征在于，在所述夹盘和所述移动单元的所述相对移动中，使用所述夹盘驱动模块来旋转所述夹盘，且使用所述水平移动模块在一个方向上水平移动所述喷嘴，在所述夹盘被固定的状态下，使用所述水平移动模块在一个方向上水平移动所述喷嘴，在所述喷嘴被固定的状态下，使用所述夹盘驱动模块水平移动所述夹盘，或在彼此不同的方向上水平移动所述夹盘和所述喷嘴。

6.根据权利要求1所述的平坦水平检查设备，其特征在于所述计算单元包括：

计算部分，其经配置以使用所述参考值将所述实际测得的电压值计算为所述待检查对象的所述表面高度值；以及

比较确定部分，其经配置以确定将所述待检查对象的所述所计算的表面高度值彼此相对比较，从而确定所述平坦水平。

7.一种用于检查平坦水平的方法，所述方法包括：

准备待检查对象以将喷嘴安置在所述待检查对象的表面上方；

在改变所述喷嘴的高度的同时将流体喷射到所述待检查对象的所述表面的特定点上，以检测视所述喷嘴与所述特定点之间间隔的距离而定的流体喷射压力，并将所述检测到的流体喷射压力转换为电压值，从而计算参考值；

将所述流体喷射到所述待检查对象的所述表面上，在水平移动所述喷嘴和所述待检查对象中的至少一者的同时扫描所述待检查对象的所述表面，检测视所述待检查对象的所述表面与所述喷嘴之间间隔的距离而定的流体喷射压力，且将所述检测到的流体喷射压力转换为电压值，从而计算实际测得的电压值；

使用所述所计算的参考值将所述实际测得的电压值计算为所述待检查对象的表面高度值；以及

将所述待检查对象的所述表面高度值彼此比较，以确定所述待检查对象的平坦水平。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于在改变所述喷嘴的所述高度的同时将所述流体喷射到所述待检查对象的所述表面的所述特定点上的过程中，将所述喷嘴安置在所述待检查对象的表面区域的所述特定点上方，且上升或下降以在改变所述喷嘴与所述待检查对象的所述表面的所述特定点之间间隔的所述距离的同时从所述喷嘴喷射所述流体。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于在水平移动所述喷嘴和所述待检查对象中的所述至少一者的同时将所述流体喷射到所述待检查对象的所述表面上以扫描所述待检查对象的所述表面的过程中，所述流体可以螺旋形或Z字形扫描所述待检查对象的所述表面。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于旋转所述待检查对象，且在一个方向上水平移动所述喷嘴，以允许所述流体以所述螺旋形扫描所述待检查对象的所述表面。

11.根据权利要求8所述的方法，其特征在于水平移动所述喷嘴以横越所述待检查对象的顶部表面的中心部分。