[发明专利]平坦水平检查设备及使用所述设备来检查平坦水平的方法

说明书

相关申请案的交叉参考

本申请案主张2011年12月15日申请的第10-2010-0128428号韩国专利申请案的优先权，所述专利申请案的内容以全文引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及一种容易地检查待检查对象的平坦水平并改进检查可靠性的平坦水平检查设备，以及一种用于使用所述设备来检查平坦水平的方法。

背景技术

在例如发光二极管(light emitting diodes，LED)、液晶显示器(liquid crystal displays，LCD)、等离子体显示面板(plasma display panels，PDP)等半导体装置的情况下，例如硅晶片(silicon wafer)或玻璃衬底(glass substrate)等衬底的平坦水平用作决定装置特性的重要参数。因此，在制造半导体装置之前，检查衬底的平坦水平。

通常，可将使用探针(probe)的平坦度检查设备用作用于检查衬底的平坦水平的设备。在此平坦度检查设备中，探针在探针接触衬底的表面以检查衬底的平坦水平的状态下水平移动。在此情况下，因为探针的一端接触衬底的表面，所以存在衬底可能因探针而被刮伤或因污染而被损坏的局限性。为了解决所述局限性，可将光发射到衬底的表面上，以通过非接触方式来检查衬底的平坦水平。在使用光来检查衬底的平坦水平的情况下，衬底不会损坏。然而，难以检查具有优良透明度的衬底，例如蓝宝石晶片。因此，在此情况下，检查可靠性可能降低。之所以这样是因为大约95％的光会透过蓝宝石晶片。因此，强度的变化可能减少，并且难以确定强度是因蓝宝石晶片的表面还是因外部因素而定化。因此，可能难以精确地检查衬底的平坦水平，从而导致半导体装置的缺陷且降低良率。

发明内容

本发明提供一种容易地检查待检查对象的平坦水平并改进检查可靠性的平坦水平检查设备，以及一种用于使用所述设备来检查平坦水平的方法。

本发明还提供：一种将流体喷射到待检查的对象上以通过非接触方式来检查对象的平坦水平的平坦水平检查设备，以及一种使用所述设备来检查平坦水平的方法。

根据示范性实施例，一种平坦水平检查设备包含：夹盘(chuck)，其经配置以支撑并固定待检查的对象；测量单元，其包含喷嘴(nozzle)，所述喷嘴经配置以将流体喷射到待检查的对象的表面上，所述测量单元经配置以检测从喷嘴喷射的流体的喷射压力视喷嘴与待检查对象之间间隔的距离而定的变化，从而将检测到的喷射压力值转换为电压值；提升模块(lifting module)，其经配置以提升所述喷嘴；移动单元，其经配置以水平移动夹盘和喷嘴中的至少一者，所述移动单元经配置以水平且相对地移动夹盘和喷嘴；以及计算单元，其经配置以使用由测量单元测得且视喷嘴与待检查对象的表面的特定点之间间隔的距离的变化而定的电压值，来将在扫描待检查对象的表面时测得的实际测得的电压值计算为待检查对象的表面高度值，且将待检查对象的所计算的表面高度值彼此相对比较，从而确定平坦水平。

测量单元可包含空气测微计(air micrometer)。

移动单元可包含：夹盘驱动模块(chuck drive module)，其经配置以旋转或水平移动夹盘；以及水平移动模块，其经配置以水平移动测量单元的喷嘴。

可提供多个所述喷嘴。

在夹盘和移动单元的相对移动中，可使用夹盘驱动模块来旋转夹盘，且使用水平移动模块在一个方向上水平移动喷嘴，可在夹盘被固定的状态下，使用水平移动模块在一个方向上水平移动喷嘴，在喷嘴被固定的状态下使用夹盘驱动模块水平移动夹盘，或在彼此不同的方向上水平移动夹盘和喷嘴。

计算单元可包含：计算部分，其经配置以使用参考值将实际测得的电压值计算为待检查对象的表面高度值；以及比较确定部分，其经配置以确定将待检查对象的所计算的表面高度值彼此相对比较，从而确定平坦水平。