[发明专利]使用静电力的基板组件载具

说明书

技术领域

本发明涉及半导体领域，更具体地，涉及一种基板组件载具。

背景技术

在集成电路的封装中，可以将管芯封装在层压基板上，该层压基板包括：金属连接件，可以在层压基板的相对侧之间传递电信号。可以使用倒装芯片接合法将该管芯接合到层压基板的一侧上，并且实施回流，从而使互连管芯和层压基板的焊料凸块融化。

层压基板使用可容易制成的材料。然而，这些材料易于由在焊料凸块的回流中所使用的升高的温度产生翘曲。这种翘曲可能导致不规则连接和/或凸块裂缝，并且导致不良组件成品率。通常，为了减少层压基板的翘曲，可以使用夹具从两侧压挤层压基板。夹具可以包括：下夹具和上夹具。上夹具通常具有在其中具有开口的网格图案，并且将层压基板夹置在下夹具和上夹具之间。通过位于上夹具中的开口露出层压基板的部分。通过开口将管芯接合在层压基板上。然而，夹具还带来了问题。例如，不能将上夹具所占用的层压基板的区域用于接合管芯，并且因此造成浪费。此外，传统夹具需要具有某一厚度，该夹具将层压基板保持在适当位置中。因此，上夹具可以从侧面到达管芯和层压基板。因为需要从管芯的侧面施加底部填充剂，所以对于诸如将底部填充剂施加在管芯和层压基板之间的空间中的某一工艺步骤，这种方式产生问题。

此外，夹具的使用需要人为介入，并且在例如接合、助焊剂清洁、底部填充剂施加、烘焙、测试等的不同封装阶段可能需要具有不同网格大小的几套夹具。这可能导致将人为误差引入该工艺。因此，涉及层压基板的使用的工艺步骤难以实现自动化。

发明内容

为了解决现有技术所存在的缺陷根据本发明的一个方面，提供一种器件，包括：便携式静电吸盘载具，包括：支持架包括：电介质顶面；以及双极电极，位于所述电介质顶面的下方，其中，所述双极电极包括：正电极和与所述正电极电绝缘的负电极，并且其中，所述正电极和所述负电极以交替图案分布在与所述电介质顶面基本平行的平面内。

在该器件中，所述便携式静电吸盘载具被完全密封，并且所述便携式静电吸盘载具包括：电感器，用于将电力无线接入所述便携式静电吸盘载具中；信号接收器，被配置为从所述便携式静电吸盘载具的外部接收外部信号，并且其中，所述便携式静电吸盘载具被配置为，响应于所述外部信号，对所述双极电极进行充电和放电；嵌入式可充电电池，被配置为响应于所述外部信号，激活对所述双极电极进行充电和放电的步骤。

在该器件中，所述便携式静电吸盘载具进一步包括：引脚插孔，连接至所述双极电极，并且其中，所述器件进一步包括：充电站，被配置为将电荷提供给所述双极电极，其中，所述充电站包括：引脚，与所述引脚插孔相配合；以及放电站，被配置为对所述双极电极进行电荷放电，其中，所述引脚插孔包括：正极引脚插孔，连接至所述正电极；负极引脚插孔，连接至所述负电极，和接地引脚插孔，连接至电接地。

根据本发明的另一方面，提供了一种器件，包括：静电吸盘载具，被配置为将电介质部件吸附在所述静电吸盘载具的顶面上，其中，所述静电吸盘载具包括：完全密封支持架包括：电介质顶面；电极，位于所述电介质顶面的下方并且分布在基本上与所述电介质顶面平行的平面内；以及无线电源接收器，被配置为将电力无线接入所述静电吸盘载具中。

在该器件中，所述电极包括：双极电极，所述双极电极包括：正电极和与所述正电极电绝缘的负电极，并且其中，以交替图案分布所述正电极和所述负电极；或者所述无线电源接收器包括：电感器，被配置为与外部电感器一起形成变压器，以及其中，通过所述变压器接收所述电力。

在该器件中，所述静电吸盘载具进一步包括：信号接收器，被配置为从所述静电吸盘载具的外部接收外部信号，并且其中，所述静电吸盘载具被配置为响应于所述外部信号，对所述电极进行充电和放电，其中，所述信号接收器包括：光学信号接收器或者电磁信号接收器，所述静电吸盘载具进一步包括：嵌入式可充电电池，连接至所述无线电源接收器。

根据本发明的又一方面，提供了一种方法，包括：将含电介质部件加载在静电吸盘载具上；对所述静电吸盘载具充电，从而将所述含电介质部件吸附在所述静电吸盘载具上；传送作为集成单元的所述静电吸盘载具和吸附在所述静电吸盘载具上的所述含电介质部件；以及使所述静电吸盘载具放电以将所述含电介质部件从所述静电吸盘载具上去吸盘。