[发明专利]处理装置

权利要求书

1.一种处理装置，其特征在于：

该处理装置能够根据被处理体面内的位置改变向所述被处理体喷出的处理气体的供给量和气体种类的至少一方，该处理装置包括：

使用所述处理气体对所述被处理体实施处理的处理室；

设置在所述处理室内、载置所述被处理体的载置台；

与所述载置台对置设置在所述处理室内、向所述处理室喷出所述处理气体的处理气体喷出部；

空间组，其包含：在所述处理气体喷出部内，经由隔壁相互分隔设置并具有喷出所述处理气体的喷出孔的第一空间、第二空间和设置在所述第一空间与所述第二空间之间的至少一个第三空间，其中，所述第一空间与所述被处理体面内的中心部分对应，所述第二空间与所述被处理体面内的边缘部分对应；和

处理气体分配单元，其包括：包含连通于所述第一空间、所述第二空间、所述至少一个第三空间的处理气体分配管的处理气体分配管组，和包含对邻接的所述处理气体分配管彼此之间进行开闭的阀的阀组。

2.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

该处理装置构成为：喷向所述被处理体的中心部分的所述处理气体的喷出位置和喷向所述被处理体的边缘部分的所述处理气体的喷出位置，根据所述阀组内的阀的开闭状态切换至少两个以上。

3.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

该处理装置还具有第一处理气体流通的第一处理气体主供给管；和

供给量和气体种类的至少一方与所述第一处理气体不同的第二处理气体流通的第二处理气体主供给管，

所述第一处理气体主供给管连接于所述处理气体分配管组中的与所述第一空间连通的第一处理气体分配管，

所述第二处理气体主供给管连接于所述处理气体分配管组中的与所述第二空间连通的第二处理气体分配管。

4.如权利要求3所述的处理装置，其特征在于：

所述第一处理气体、所述第二处理气体的喷出位置的切换，是通过关闭所述阀组内的一个阀进行的。

5.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述第三空间至少有三个以上，

该处理装置还具有供给量和气体种类的至少一方与所述第一处理气体、所述第二处理气体不同的第三处理气体流通的至少一个第三处理气体主供给管，

所述第三处理气体主供给管与第三处理气体分配管的至少一个连接，其中，所述第三处理气体分配管与所述处理气体分配管组中的所述有至少三个以上的第三空间的至少一个连通。

6.如权利要求5所述的处理装置，其特征在于：

所述第一处理气体、所述第二处理气体、所述第三处理气体的喷出位置的切换，是通过关闭所述阀组内的至少两个阀来进行的。

7.如权利要求5所述的处理装置，其特征在于：

所述至少一个第三处理气体主供给管与所述第三处理气体分配管的至少一个连接，其中，所述第三处理气体分配管与所述第一处理气体主供给管、所述第二处理气体主供给管分别相离两个以上所述阀。

8.如权利要求5所述的处理装置，其特征在于：

所述第一处理气体、所述第二处理气体、所述第三处理气体的喷出位置的切换，是通过关闭位于所述第一处理气体主供给管与所述第三处理气体主供给管之间的至少一个阀、和关闭位于所述第二处理气体主供给管与所述第三处理气体主供给管之间的至少一个阀来进行的。

9.如权利要求1～8的任一项所述的处理装置，其特征在于：

该处理装置还具有控制所述阀的开闭状态的控制装置。